Gebraucht CANON PLA 600 #293594861 zu verkaufen

CANON PLA 600
Hersteller
CANON
Modell
PLA 600
ID: 293594861
Mask aligner.
CANON PLA 600 ist ein Masken-Aligner für den Einsatz in der Photolithographie. Es ist eine halbautomatische Plattform für die Waferbearbeitung mit einer umfassenden Suite an Funktionen und integrierten Tools. Zu den Merkmalen gehören eine hochpräzise Stufe zur präzisen Musterpositionierung und -ausrichtung, ein integriertes Mikroskop zur Waferanalyse sowie hochmoderne Beleuchtungs- und programmierbare Filtersysteme. Der halbautomatische Betrieb des Aligners macht ihn sowohl für die manuelle als auch für die automatisierte Verarbeitung geeignet. Die detaillierte Integration der Maschine gewährleistet einen kompletten Prozesszyklus, der mit dem Beladen der Probe beginnt und mit dem Entladen des bearbeiteten Wafers endet. In der Mitte des Zyklus gibt es verschiedene Prozesse wie Pre-Alignment, Belichtung, Datenanalyse, Post-Alignment und Entladen. Die Maschine kann ihre verschiedenen Aufgaben mit einer Geschwindigkeit von bis zu 100 Wafern pro Stunde erfüllen. Herzstück des Masken-Aligners ist eine optimierte optische Ausrüstung, die von einem fortschrittlichen Echtzeit-Bildverarbeitungssystem unterstützt wird. Es ist eine sehr vielseitige Einheit, die eine Vielzahl von Photomasken verarbeiten kann, wie Standard-Lithographiemasken, interferometrische Art, Binär-, Kontakt- und Lasermasken. Die Maschine kann auch in binären Lithographieanwendungen eingesetzt werden, wo sie die Komplexität bewältigen kann, die mit der Erkennung kleiner Merkmale verbunden ist. PLA 600 bietet dem Anwender eine Reihe von Vorteilen, darunter einfache Bedienung und Wartung, hohe Präzision, Spitzenleistung und erschwingliche Investitionskosten. Eines der wichtigsten Merkmale ist seine innovative Maskenmustererkennungsmaschine, die eine Bibliothek mit fortschrittlichen Algorithmen zur Maskenmustererkennung verwendet. Diese kritische Funktion vereinfacht den Ausrichtungsprozess mit hervorragenden Musteranpassungsfunktionen. Das erweiterte Feature-Set umfasst auch eine hochempfindliche Lichtquelle und ein digitales Projektionswerkzeug. Diese Komponenten bieten eine hervorragende Empfindlichkeit und Auflösung, so dass hochwertige Mikrostrukturen hergestellt werden können. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Schnittstelle zur Steuerung bestimmter Parameter wie Belichtungsdosis und Anzahl der Belichtungen. Es ist auch mit einer Laserquelle für die fortschrittliche Mustererzeugung ausgestattet. Schließlich bietet CANON PLA 600 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, die sicherstellen, dass die Umgebung sicher ist und die Maschine ordnungsgemäß arbeitet. Dazu gehören ein automatisches Verriegelungselement, ein Luftreinigungsmodell und eine automatische Diagnose. Die Maschine kann in andere Peripheriegeräte integriert werden, um eine komplette Lithographie-Bearbeitungsausrüstung zu bilden.
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