Gebraucht CANON PLA #9244761 zu verkaufen

CANON PLA (Parallel Layer Aligner) ist ein Masken-Aligner für Wafer Stepper/Scanner-basierte Lithographie. Es ist eine schrittkompatible programmierbare Laserausrichtung, die automatisierte Overlay-Ausrichtungsfunktionen ermöglicht, indem optische und Softwarefunktionen kombiniert werden, um zwischen Schichten in verschiedenen Schichten zu messen und auszurichten. PLA verwendet Laserausrichtungstechniken und hochauflösende optische Mikroskopie, um die relative Ausrichtung von zwei Schichten genau zu messen. Die Laserausrichtung wird durch Verwendung eines Lasers und eines Siliziumwafers erreicht, auf dem ein Bild jeder Schicht reflektiert wird. Wenn die Ausrichtung der beiden Schichten genau bestimmt wird, wird sie dadurch in das Lithographierezept geschrieben. Das System erkennt Muster aus einem einzelnen Bild eines Overlay-Testwafers und vergleicht es dann mit einem Referenzdatensatz. Es kann die relative Ausrichtung von zwei Schichten bis zur Sub-Mikron-Genauigkeit messen. CANON PLA ist mit einem leistungsstarken bildgebenden Algorithmus ausgestattet, der die Positionierung mehrerer Schichten vereinfacht und beschleunigt und gleichzeitig die Notwendigkeit mehrerer Bilder eliminiert. Die Einheit verfügt außerdem über eine Reihe integrierter Werkzeuge, darunter ein Ausrichtungsüberprüfungswerkzeug, ein Musterüberpassungswerkzeug und ein Kantenerkennungswerkzeug. PLA wurde entwickelt, um die Rüstzeiten zu reduzieren und die Anzahl der für die Produktion erforderlichen Expositionen zu minimieren. Seine Leistung ist mit der Flexibilität einer programmierbaren Lasermaschine gekoppelt, so dass ein Benutzer alle Parameter des Ausrichtungsprozesses steuern kann. Es ist auch hochautomatisiert und ermöglicht eine genaue und wiederholbare Ausrichtung mehrerer Schichten. Insgesamt ist CANON PLA ein äußerst zuverlässiges und nützliches Lithographiewerkzeug, das eine ausgezeichnete Genauigkeit und das Potenzial für eine schnelle Durchsatzproduktion bietet. Mit seiner Kombination aus optischen und Software-Funktionen ist es eine unschätzbare Ergänzung zu jeder Produktionsumgebung.