Gebraucht COBILT CA 800 #69878 zu verkaufen
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ID: 69878
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4"
Includes:
Split field optics
(2 to 3) Microns resolution
350 Watt lamp and power supply.
COBILT CA 800 Maske Aligner ist ein Bauelement für photolithographische Prozesse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses Gerät projiziert mit einer Hochleistungs-UV-Lampe ein präzises Muster, das auf ein Substratmaterial geätzt wird. Die Hauptkomponenten des CA 800-Geräts umfassen ein Ausrichtmikroskop, eine Bühne, lichtempfindliche Masken, einen kastellierten Maskenhalter und einen Excimerlaser. Das Ausrichtungsmikroskop dient zur Ausrichtung der Kamera auf Maske und Substrat sowie zur Identifizierung eventuell auftretender Verzerrungen durch Maskendrehung oder Fehlausrichtung. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, wird ein Sensorsystem verwendet, um Fehler während des Ausrichtvorgangs zu kompensieren. Die in COBILT CA 800 verwendete UV-Lampe ist in der Lage, leistungsstarkes UV-Licht zu erzeugen, das auf die Maske gerichtet ist, um die präzisen Muster genau zu projizieren. Der kastellierte Maskenhalter hilft, die Maske während des Photolithographie-Prozesses stabil zu halten, während der Excimer-Laser verwendet wird, um die Stabilität des Photolithographie-Prozesses zu reinigen und zu verbessern. Sobald die Maske auf den Maskenhalter montiert ist, bewegt die Bühne das Substrat über die Maske und das UV-Licht wird verwendet, um das Muster auf das Material zu ätzen. Die Geschwindigkeit des UV-Lichts kann angepasst werden, um die Anzahl der pro Zeiteinheit geätzten Merkmale zu erhöhen oder zu verringern. Diese Funktion ermöglicht hohe Produktionsraten und Präzision bei der Herstellung kleiner Formelemente. Das CA 800 System bietet eine präzise Ausrichtung mit einer hohen Auflösung und einer Reihe einstellbarer Parameter. Das System eignet sich gut für die anspruchsvollsten Wafer-Fertigungsanwendungen und seine automatisierten Funktionen machen es einfach zu bedienen und kostengünstig. Es ist auch in der Lage, mehrere Substrate in schneller Folge zu verarbeiten, so dass es für die Massenproduktion geeignet ist.
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