Gebraucht DNK MA-4200 #9159261 zu verkaufen

Hersteller
DNK
Modell
MA-4200
ID: 9159261
Wafergröße: 2"
Mask aligner, 2" 2009-2012 vintages.
DNK MA-4200 ist ein automatisierter Mask-Aligner für die Arbeit mit Wafern bis 200mm. Es verfügt über einen Maskenpositionierer (MP) und ein Ausrichtungsmikroskop (AM), das zur präzisen Ausrichtung verschiedener Gerätestrukturen auf einem Wafer verwendet werden kann. Maskenausrichter werden häufig in der Mikroelektronikindustrie für photolithographische Prozesse eingesetzt. Der Mask Positioner (MP) verfügt über ein X-Y-Positionierungssystem, das den Maskenrahmen über den Wafer bewegt. Es ist in der Lage, den Maskenrahmen mit einer Auflösung von 0,1 μ m automatisiert auf den Wafer auszurichten. Es ist mit einem Synchronmotor und einem hochauflösenden Encoder zur präzisen Positionierung ausgestattet. Der Mask Positioner ermöglicht auch die manuelle Feinabstimmung des Maskenrahmens mit Hilfe des Alignment Microscope. Das Alignment Microscope (AM) ist ein optisches Mikroskop mit integrierter Laserdiode und spritzwassergeschütztem View Port. Es wird verwendet, um den Maskenrahmen auf dem Wafer nanometergenau zu beobachten und auszurichten. Das Ausrichtungsmikroskop hat eine 10x Vergrößerung und eine Auflösung von 0,2 μ m. Es ist in der Lage, großflächige Substrate mit Hilfe von Ausrichtungszielen auszurichten. DNK MA4200 enthält auch einen Kamera-Orientierungsmechanismus (COM), der verwendet wird, um die Kamera für Maskenschreiben und andere Prozesse zu orientieren. Die COM ist mit einem Hochleistungs-Drehmomentmotor und anspruchsvollen Encodern ausgestattet, wodurch sie eine hochgenaue Ausrichtung der Kamera über den Wafer ermöglicht. Darüber hinaus ist der Mask Aligner mit einem Hochleistungs-Halogenbeleuchter ausgestattet, der es ermöglicht, großflächig eine gleichmäßige Beleuchtung zu erzeugen. Es verfügt über ein eingebautes Kühlsystem für verbesserte Maskenschreibleistung sowie ein Wartungs-Journal für die Verfolgung von Wartungsarbeiten. MA 4200 ist ein zuverlässiger und effizienter Masken-Aligner mit Funktionen, die ihn für eine Vielzahl von Photolithographie-Prozessschritten geeignet machen. Es bietet eine hervorragende Kombination aus Präzision, Genauigkeit und Leistung und ist somit eine ideale Wahl für die Herstellung hochwertiger Mikroelektronik.
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