Gebraucht DNS / DAINIPPON MA-4200 #9375091 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON MA-4200 ist ein Masken-Aligner, ein lithographisches Werkzeug, das im photolithographischen Verfahren verwendet wird, um ein Schaltungsmuster von einer Fotomaske auf ein Substrat (z.B. einen Silizium-Wafer oder Glasschieber) zu übertragen. Der Aligner projiziert ein Bild der Photomaske auf das Substrat und misst die Ausrichtung mittels eines Ausrichtungssensors. DNS MA-4200 ist für Maskengrößen bis 10,4 Zoll (263 mm) Durchmesser konzipiert und verfügt über eine bis zu Submikron-Ausrichtungsgenauigkeit über eine 1000µm Fläche. Die hohe Genauigkeit ist durch die Vier-Quadranten-Ausrichtungstechnik des Werkzeugs möglich, die mit zwei Interferometern die Ausrichtung von Substrat und Photomaske misst. Dieses Verfahren ist auch für die Inspektion von Wafer-zu-Maske-Registrierungen vorteilhaft. Um die Genauigkeit weiter zu erhöhen, verwendet DAINIPPON MA-4200 ein optimiertes Bühnenbild, um Registrierungsfehler durch Ausleger und thermische Ausdehnung zu reduzieren, und verfügt über ein Anti-Vibrationssystem, um mechanische Vibrationen zu minimieren und eine konsistente Ausrichtung über den gesamten Ausrichtungsbereich zu gewährleisten. In Bezug auf die Wartung verfügt MA-4200 über zwei separate Vakuumsysteme, um den Bedarf an manuellem Waferaustausch zu reduzieren und den nahtlosen Betrieb zu erleichtern. Darüber hinaus enthält das Werkzeug ein Auto Alignment System (AAS), das die gewünschte Ausrichtungsmitte im Substrat genau lokalisieren und Registrierungsfehler mit einem einzigen Knopfdruck kompensieren kann, so dass eine manuelle Kalibrierung nicht erforderlich ist. In Bezug auf die Kompatibilität mit Photomasken kann das Gerät eine Vielzahl von Typen verarbeiten, einschließlich binärer Masken, Phasenschiebermasken und Chrommasken. Um Zuverlässigkeit und Sicherheit zu gewährleisten, verfügt DNS/DAINIPPON MA-4200 über eine Vielzahl von Steuerungsfunktionen, einschließlich einer Überlastsicherung, die das Werkzeug automatisch stoppt, wenn es mechanische Störungen erkennt. Es verfügt auch über Luftpartikel und elektrische Leckagesensoren, um jede Luftverschmutzung zu erkennen und in sicheren Grenzen zu halten. DNS MA-4200 ist für eine schnelle, genaue und präzise photolithographische Verarbeitung ausgelegt. Seine Kombination aus Leistung, Genauigkeit, Wartbarkeit, Sicherheit und Kompatibilität machen es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Photolithographie-Anwendungen.