Gebraucht ELS TECHNOLOGY ELS 104SA #9161432 zu verkaufen

ELS TECHNOLOGY ELS 104SA
ID: 9161432
Mask aligner.
ELS TECHNOLOGY ELS 104SA ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter zur Herstellung harter Röntgen- und weicher Röntgenoptiken. ELS 104SA verwendet auf der Vorderseite der Maske gebildete Ausrichtungsmarken, die in der bildgebenden Optik freigelegt werden, um die Maskenposition mit der Optik genau zu registrieren. Insbesondere nutzt ELS TECHNOLOGY ELS 104SA Laserinterferometrie und elektronische Bildanalyse, um eine Maske auf einer Substratplatte innerhalb weniger Nanometer auszurichten. ELS 104SA besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten, darunter einem Maskenspinner, Scankopf, Strahlteiler, Autostufe und Autodetektor. Der Maskenspinner ist ein Rotationsmotor, mit dem die Maske exakt auf die Substratplatte ausgerichtet wird. Über die Steuerungssoftware wählt das Programm die Plattendrehrate aus, die eine genaue XY-Ausrichtung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über ein manuelles Raster, das die Genauigkeit der Ausrichtung erhöht, indem Benutzer die Überlappung zwischen der Maske und dem Substrat manuell anpassen können. ELS TECHNOLOGY ELS 104SA Scan-Kopf ermöglicht es Benutzern, die Mustergröße, Auflösung und Scan-Richtung zu wählen, und enthält einen ultra-stabilen Quarz-Ebene Spiegel, die 0,02 Mikron Genauigkeit und 10 Nanometer Auflösung halten kann. Der Strahlteiler ist ein Prisma, das ankommendes Licht in zwei getrennte Strahlen trennt, ein Strahl bietet eine kleinere Abtastfeldgröße, reduziert Aberration am Rand der Maske oder des Substrats und erhöht den Durchsatz. Hohe Präzision und Stabilität wird mit der automatischen Stufe ELS 104SA aufrechterhalten, die Ausrichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Es enthält auch vernier Skalen für präzise XY-Bühnenbewegung. Der automatische Detektor ermöglicht die automatische Erkennung der Ausrichtungsmarken und sorgt für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Es arbeitet in Verbindung mit der automatischen Stufe, um die Genauigkeit zu erhöhen und die Kosten für die manuelle Ausrichtung zu minimieren. Insgesamt ist ELS TECHNOLOGY ELS 104SA eine ideale Wahl für Anwender, die einen Maskenausrichter suchen, der sowohl harte Röntgen- als auch weiche Röntgenoptiken verarbeiten kann. Mit seinen hochgenauen und wiederholbaren Ausrichtungsmöglichkeiten ist ELS 104SA weiterhin eine zuverlässige und erschwingliche Wahl für eine Reihe von Anwendungen im medizinischen und industriellen Bereich.
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