Gebraucht ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #293768116 zu verkaufen

ELS TECHNOLOGY ELS 106SA mask aligner ist ein vielseitiges, genaues und zuverlässiges Lithographiewerkzeug, das bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Das Gerät ist für hochauflösende Elektronenstrahl-, Röntgen- und optische Lithographieanwendungen konzipiert und bietet eine Genauigkeit im Nanometermaßstab. Dieses System umfasst einen Maskenausrichter, eine Kammer, ein Substratfutter und Zubehör. Der Masken-Aligner verwendet eine motorisierte Bühne, um Masken für eine Auflösung von bis zu 500nm genau zu bewegen und auszurichten. Dies trägt dazu bei, dass die hergestellte Vorrichtung präzise und atomar ausgerichtet ist. Die Kammer von ELS 106SA ist eine einzonige, einteilige Submikron-Reinigungseinheit mit On-Axis-Design. Diese Konstruktion ermöglicht das schnelle Ein- und Ausbringen von Substratfutter und die Kammer verfügt über eine einzigartige Portiermaschine, die eine einfache Integration mehrerer Zubehörteile ermöglicht. Es verfügt auch über eine Hochtemperatur-Heizquelle, um thermische Kompensationen für eine genaue Ausrichtung bereitzustellen. Das Substratfutter von ELS TECHNOLOGY ELS 106SA wurde entwickelt, um niederwinklige Substrate mit vorjustierten Ausrichtungsmarken zu ermöglichen, die Auflösungen bis zu 5 nm erreichen können. Das optionale Zubehör umfasst einen Elektronenstrahlverdampfer, eine Gasinfusionsabscheidungsquelle, ein optisches Fokussierwerkzeug und eine Quarzkristallüberwachung. Das Modell enthält auch eine Sicherheitsverriegelung, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. ELS 106SA ist sowohl für Forschung als auch für industrielle Anwendungen konzipiert und bietet eine benutzerfreundliche, intuitive Steuerung für vielseitige Fertigungsaufgaben. Es verfügt über eine erweiterte grafische Benutzeroberfläche zur Konfiguration mehrerer Parameter und zur Überwachung der Geräteleistung. Das System umfasst auch Analyse- und Protokollierungsfunktionen, mit denen Kunden Musteränderungen einfach verfolgen und Auffälligkeiten erkennen können. Darüber hinaus verfügt dieses Gerät über eine integrierte Wartungsmaschine für regelmäßige Inspektionen und Tests, um eine optimale Werkzeugleistung zu erhalten. Diese Anlage ist robust, zuverlässig und so konzipiert, dass sie Umwelt- und Betriebsbelastungen standhält. Insgesamt ist ELS TECHNOLOGY ELS 106SA mask aligner ein präzises, benutzerfreundliches und zuverlässiges Modell, das für hochauflösende Lithographieanwendungen entwickelt wurde. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, sein robustes Design und seine intuitive Steuerung machen es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.