Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #293732724 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 620 mask aligner ist ein Präzisions-Lithographiewerkzeug zur Herstellung von mikroelektronischen und optoelektronischen Geräten. Dieses Tool ermöglicht es Benutzern, Feinlinien- und Ultrafeinlinienmerkmale mithilfe der Kontaktierungslithographie präzise in Substrate zu strukturieren. EVG 620 ist in der Lage, Submikron-Merkmale mit hoher Ausbeute und Genauigkeit zu produzieren. Die EV GROUP 620 verfügt über eine variable Beleuchtungseinrichtung, die Masken- und Waferstufen, einen oder zwei bewegliche Spiegel sowie unabhängige Fokus-, Belichtungs- und Ausrichtungssteuerungen umfasst. Mit dieser Funktion kann das System Substrate mit optischen Wellenlängen von 350 nm bis 560 nm belichten. Das Gerät kann auch mit Software-Steuerung konfiguriert werden, um den Einsatz verschiedener Lithographie-Prozesse zu ermöglichen. 620 ist dank des eingebauten Lasermoduls mit automatisierten Ausrichtfunktionen integriert. Diese Funktion erhöht die Genauigkeit des Maskenausrichtungs- und -überlagerungsschritts erheblich, was Prozesszeit und -kosten reduziert. Die Maskenausrichtungsmaschine verwendet zwei Laserdiodenstrahlen, um eine genaue Ausrichtung von Photomaske und Substrat innerhalb des lithographischen Werkzeugs zu gewährleisten. Die Ausrichtungsgenauigkeit für eine gegebene Geometrie ist besser als 0,2 Mikrometer. Darüber hinaus bietet EVG/EV GROUP 620 automatisierte Mustererzeugungsfunktionen. Mit ausgefeilter Software können Anwender für jedes Retikel im Herstellungsprozess hoch detaillierte optische Skripte generieren. Diese Software ermöglicht die Optimierung genauer Belichtungen, um das Auftreten von Defekten zu minimieren und Schuss-zu-Schuss-Variationen zu minimieren. EVG 620 eignet sich gut für eine Reihe von industriellen Anwendungen, einschließlich hochauflösender Netzteile, Fehlerreduzierung bei mikroelektronischen Geräten und Dünnschicht-Photovoltaik-Geräten. Seine Kombination aus Genauigkeit, Leistung und produktionsfreundlichen Eigenschaften machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Hersteller.