Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #9149820 zu verkaufen

EVG/EV Group EVG/EV GROUP 620 ist ein Masken-Aligner der nächsten Generation, der in der optischen Lithographie eingesetzt wird. Es bietet höhere Genauigkeit, kompromisslose Gleichmäßigkeit und überlegene Prozesskonsistenz als andere Maskenausrichter in seiner Klasse. Das Gerät verfügt über eine vollautomatische Hochgeschwindigkeits-Ausrichtstufe. Es verwendet ein Mikropositionierungssystem mit einer beispiellosen Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die optische Probenkamera hilft bei der Bestimmung der genauen Position der Waferprobe. Die optische Ausrichteinheit erfüllt Halbleiterstandards für kritische Dimensionsgleichmäßigkeit über Wafer, und der hochauflösende Ausrichtungssensor sorgt für präzise Positionsgenauigkeit. Die Maskenstufe besteht aus einer vollautomatischen Hochgeschwindigkeits-Zeigeeinheit mit einer Sichtfeld-Ebene, die sich je nach Maskengröße und Fotolackdicke ständig einstellt. Dies gewährleistet die Genauigkeit der Maskenplatzierung und reduziert mögliche Registrierungsfehler. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein integriertes mechanisches Spannwerkzeug, das das schnelle Be- und Entladen der Maske erleichtert. Das Asset verfügt über mehrere Funktionen, die die Benutzerarbeitsabläufe optimieren und die Effizienz verbessern sollen. Das automatisierte Rezeptmodell vereinfacht die Prozesseinrichtung und Einheitlichkeitsprüfung mit nur einem Rezept. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte schnell zu erstellen und zu steuern und ermöglicht Echtzeit-Anpassungen. Zusätzlich unterstützt das Gerät bis zu fünf Rezepturen gleichzeitig für einen erhöhten Durchsatz. EVG 620 bietet erstklassige optische Lithographie-Leistung. Seine hochpräzisen Ausrichtungssysteme bieten außergewöhnliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die vollautomatische Maskenplatzierungsstufe sorgt für eine präzise Maskenpositionierung und die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, Rezepte und Prozesseinstellungen einfach anzupassen. Das System verfügt zudem über eine integrierte Temperaturregeltechnik für wiederholbare und zuverlässige Prozessleistung.