Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #9157850 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9157850
Wafergröße: 6''
Mask aligner, 6"
BSA
Lamphouse: 500W
Automatic filter exchanger
Spare parts included
Currently de-installed.
EVG/EV GROUP 620 ist eine fortschrittliche Mask Aligner Ausrüstung, die für vielseitige Verarbeitung und Tests entwickelt wurde. Es verfügt über eine vollautomatisierte optische Ausrichtungstechnologie, die eine präzise und wiederholbare Registrierung flacher Substrate gegen starre oder flexible Masken ermöglicht. Dieses System bietet auch überlegenen Durchsatz und Genauigkeit für eine breite Palette von Anwendungen. EVG 620 verfügt über erstklassige optische Komponenten, Software und Systemtechnik. Seine hochmoderne Ausrichteinheit, bestehend aus zwei 13 Achsen Präzisionsantriebe, kann eine hohe Genauigkeit bei präziser Steuerung des Substrats bei aktiven Ausrichtvorgängen erreichen. Dies macht es ideal für Anwendungen wie Resistbildgebung, Feinlinienlithographie, Präzisionssubstrataufbereitung und andere herausfordernde Aufgaben. Der automatisierte Ausrichtungsprozess, der eine Kombination aus einem hochpräzisen optischen Abbildungssensor und einer lenkbaren Maske verwendet, gewährleistet jedes Mal eine genaue Platzierung des Substrats mit einer Wiederholbarkeit von besser als +/- 1 Mikron sowohl in der X- und Y-Achse als auch besser als +/- 2 Mikrometer in den Z-Achsen. Dies ermöglicht hochgenaue Resistbilder und präzise Substrataufbereitung. Die Maschine verfügt außerdem über ein leistungsstarkes Lithographiewerkzeug, um die Genauigkeit von Sub-Mikron für alle Operationen zu gewährleisten. Das automatisierte Z-Fokus-Modul des Asset ermöglicht einen dynamischen Scan, um eine gleichmäßige Widerstandsdicke zu gewährleisten. Kaskadierende Betriebsmodi gewährleisten eine extrem hohe Auflösungs- und Abweichungskontrolle, während seine fortschrittlichen Ausrichtungs- und Erkennungsalgorithmen eine schnelle, genaue Anpassung der Konstruktionsdaten ermöglichen und Ausreißer minimieren. Das Modell ist auch äußerst benutzerfreundlich, mit einem hochauflösenden, farbigen LCD 4,3 "Touchscreen, der Informationen wie Ausrichtungen, Anzahl der Belichtungen, Gesamtbelichtung pro Substrat sowie eine detaillierte Auswertung der Resist-Ergebnisse anzeigt. Dies ermöglicht eine einfache und intuitive Bedienung. EV GROUP 620 ist eine hochentwickelte Mask Aligner Ausrüstung mit hervorragenden Leistungsfähigkeiten und benutzerfreundlicher Bedienung. Es hat die Fähigkeit, überlegene Geschwindigkeit und Genauigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen zu liefern, während detaillierte Auswertungen der Resist-Ergebnisse durch seine hochauflösende, farbige LCD 4,3 "Touchscreen zur Verfügung stellen.
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