Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #9244743 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 620 ist ein Masken-Aligner, der für Anwendungen mit hoher Präzision und hohem Durchsatz in der Halbleiterindustrie konzipiert ist. Es ist ein zuverlässiger, leistungsstarker Maskenausrichter mit integrierter, automatisierter Maskenzentrierung. Das System verfügt über eine überlegene Ausrichtgenauigkeit und Wiederholbarkeit sowie eine feine Kontrolle der Belichtungsparameter wie Fokus, Druck und Spalt. EVG 620 ist mit einer 5-achsigen XYZ-Stufenbewegungseinheit und einer 6-achsigen Mikroskopstufe für optimale Ausrichtungsflexibilität ausgestattet. Das zweistufige Vakuumfutter sorgt auch für Stabilität der Substrate bei der hochauflösenden Verarbeitung. Der Stepper kann Wafergrößen von bis zu 200mm aufnehmen und ist ideal für die Steuerung verschiedener Arten von Resists, einschließlich Coater-Rezeptor-Kombinationen. Es bietet mit seinem Hochleistungs-UV-Beleuchter eine hervorragende Belichtungsgleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und Lichtdurchsatz. Der eingebaute Belichtungsregler ermöglicht eine absolute Dosissteuerung von 25mJ/cm2 bis 500mJ/cm2 mit Belichtungsgenauigkeit der 0.02mL. Darüber hinaus ist die Maschine auf einer robusten Aluminiumgussstruktur aufgebaut, die langfristige Stabilität und Präzision gewährleistet. Das Tool verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche mit einem intuitiven Menü und Steuerung Asset, so dass es einfach und einfach zu bedienen. Es verfügt auch über erweiterte Automatisierungsfunktionen wie Auto-Wafer-Fokus mit Zentrierfunktionen, automatische Retikle-Ausrichtung, automatische Prozesskorrektur und die Fähigkeit, nonstop, Multi-Produkt-Verarbeitung durchführen. Schließlich verfügt die EV GROUP 620 über eine breite Palette anpassbarer Funktionen wie ein 3D-Mapping-Modell, eine Ausrichtung mit mehreren Masken, eine Mehrkammer-Fähigkeit und eine Leistung von Rand zu Rand. Die Ausrüstung ist ein wertvolles Werkzeug, das den vielfältigen Anforderungen der Photolithographie-Industrie gerecht werden kann.