Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #9250079 zu verkaufen

EVG / EV GROUP 620
Hersteller
EVG / EV GROUP
Modell
620
ID: 9250079
Wafergröße: 6"
Backside aligner, 6".
EVG/EV GROUP 620 Maske Aligner ist ein Präzisionsinstrument zum Ausrichten und Binden von Photomasken und anderen Substraten. Es ist in der Lage, Submikron-Präzision mit Ausrichtungsgenauigkeit von 1,5 μ m zu erreichen. EVG 620 ist ein vollautomatisches Werkzeug, das sowohl für die Serienproduktion mit hohem Durchsatz als auch für die Produktion von Einzelmasken/Substraten geeignet ist. Die effiziente automatisierte Software gewährleistet eine präzise Ausrichtung und präzise Bindung zwischen Masken und Substraten. EV GROUP 620 hat zwei unabhängige Stadien, dasjenige, das eine hohe Präzision ist, die Motorbühne mit eingebauten geradlinigen Lagern, und eine Sekunde, XY-theta-axis motorisierte Stadien geht, der sich mit einer niedrigen Beschleunigungsphase und nichtsynchronisierter Hochleistungsriemenausrüstung bewegt. Dadurch erreicht das System eine Submikron-Ausrichtung ohne zusätzliche externe Hardware. Die integrierte Software ist effizient und automatisiert und umfasst programmierbare Schnittstellen zur Steuerung sowohl der Bewegungsstufen als auch der Vakuumbewegungen. Neben der hohen Präzision und Genauigkeit verfügt 620 auch über eine vertiefte Prozesssteuerung. Dazu gehören eine Vision-Maschine mit einer Auswahl an Objektivsystemen, Echtzeitüberwachung von Vakuumsystemen, ein automatisches Positionierwerkzeug sowie eine automatische Kalibrierung und Modellierung. Dieses integrierte Modell garantiert immer wieder konsistente und wiederholbare Ergebnisse. EVG/EV GROUP 620 Maske Aligner ist eine geeignete Wahl zum Ausrichten und Verkleben unterschiedlichster Substrate. Es ist einfach zu bedienen, einfach zu warten und bietet das höchste Maß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf dem Markt. Dies macht es zu einer äußerst zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für den Prototypenbau und die Herstellung von Schmelzsubstraten.
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