Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #9266635 zu verkaufen

EVG / EV GROUP 620
Hersteller
EVG / EV GROUP
Modell
620
ID: 9266635
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2003
Bond aligner, 6" 2003 vintage.
EVG/EV GROUP 620 Maske Aligner ist ein spezielles Präzisionswerkzeug zur Herstellung von Mustern zu einer Vielzahl von Substraten. Es ist ideal für die Batch-Fertigung von integrierten Schaltungen, MEMS und Mikrosystemen, Dünnschichtköpfen, flexibler Elektronik und einer Vielzahl anderer Anwendungen. EVG 620 ist eine vollautomatische Ausrüstung, die überlegene Genauigkeit und Durchsatzraten bietet. Seine Ausrichtungsleistung basiert auf einer fortschrittlichen Bildverarbeitungstechnik, gekoppelt mit einem hochauflösenden linearen Messsensor, um sicherzustellen, dass jedes Element genau an seiner gewünschten Stelle platziert wird. Dieses System verfügt über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche, die eine einfache Einrichtung, Bedienung und Wartung ermöglicht. Der Kern dieser Einheit ist eine fortschrittliche Ausrichtungsarchitektur mit automatischer Linsenoptimierung, voller 4-Quadranten-Erfassung und programmierbarem Overcan-Muster für schnelle und genaue Ergebnisse. Es verfügt auch über eine integrierte Maschinensteuerung mit Onboard-Diagnose, um auf Fehler zu überprüfen. EV GROUP 620 ist mit einem einzigartigen Substratfutter ausgestattet, das Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 "aufnehmen kann. Es kann sowohl kreisförmige als auch rechteckige Wafer handhaben und sogar mehrere Stempel unterschiedlicher Geometrie auf demselben Wafer verarbeiten. Seine Ausrichtungsgenauigkeit beträgt ± 2 μ m und seine Maskenüberdosengenauigkeit liegt innerhalb ± 1 μ m. Darüber hinaus verfügt 620 Maske Aligner über mehrere Technologien, die Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten helfen, wie eine „Neigung und Rotation“ Funktion, MEMS Spannfutter Neigungskompensation und Kathodengasregelung. Zu den Standardmerkmalen gehören auch eine atmosphärische Druckkammer und ein wiederholbarer Softwareprozess. Es hat auch ein hochgenaues Kameramodell mit CCD-Auflösung. Darüber hinaus ist EVG/EV GROUP 620 Maske Aligner entwickelt, um eine schnelle und zuverlässige Lithographie Ausrüstung bieten. Seine Fähigkeiten ermöglichen die Herstellung komplexer Produkte mit hervorragenden Ergebnissen. Das System hat niedrige Kapital- und Betriebskosten und ist somit ideal für eine kostengünstige Produktion. Diese Einheit eignet sich ideal für Hochvolumina komplexer Teile sowie für kleinere Prototypenoperationen.
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