Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #9276216 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 620 ist ein Maskenausrichtgerät für photolithographische Anwendungen. Es wird beim Erstellen und Drucken von mikroelektronischen Bauelementen wie integrierten Schaltungen verwendet. Das System ist in der Lage, mit Funktionsgrößen bis zu 10nm zu drucken. Die Einheit besteht aus zwei Hauptkomponenten; der Aligner und der Maskenprozessor. Der Aligner verfügt über eine große X-Y-motorisierte Bühne und einen Projektor, um Muster auf photoresistbeschichtete Substrate wie Siliziumscheiben zu projizieren. Der Maskenprozessor umfasst einen drehbaren 6-Achsen-Roboterarm, eine Gasfördermaschine, einen Prozessgasmonitor sowie ein Maskenspeicher- und -ladewerkzeug zur Aufnahme von bis zu 25 verschiedenen Masken und 5 Substraten. Die Ausrichtungsgenauigkeit des Objekts ist hoch, mit einem durchschnittlichen Ausrichtungsfehler von 1,2um oder weniger und einem optischen Filtermodell, um eine gleichmäßige Belichtung zu gewährleisten. Der Aligner ist auch mit einer eingebauten Vakuumausrüstung für zusätzliche Präzision bei der Maskenausrichtung ausgestattet, was auch die Luftanfälligkeit verringert. Das System ist benutzerfreundlich gestaltet, mit Steuerungssoftware, die es Benutzern ermöglicht, einfach zu entwerfen, zu ändern oder Masken zu erstellen, um ein präzises Drucken von Mustern auf beiden Seiten des Substrats zu ermöglichen. Es enthält auch eine Vakuumeinheit, die eine effizientere Reinigung und Backen des Substrats ermöglicht. EVG 620 hat eine breite Palette von Anwendungen, vom grundlegenden Musterdruck bis zum 3D-Druck von Mikrokomponenten, sowie Thermo- und Elektronenstrahl-Lithographie für die fortschrittliche Schaltungsherstellung. Dank seiner hohen Genauigkeit, Flexibilität und benutzerfreundlicher Steuerungssoftware ist es für Forschungs- und Bildungsprojekte sowie für Prototyping auf industrieller Ebene geeignet. Seine Struktur ermöglicht auch eine einfache Integration mit anderen Geräten, wie Vakuumbehälter für eine bessere Prozesssteuerung.