Gebraucht EVG / EV GROUP 620 #9402233 zu verkaufen
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ID: 9402233
Weinlese: 2004
Mask aligner
Plug type:
US 5 Nema L 21-30 Plug, Wire length 1.8m
Europe: CEE7 European plug
Japan US 5 NEMA L‐ 21-30 plug, wire length 1.8m
Tube slzes:
Compressed airi nitrogen and vacuum
Compressed air: 6 Barr (87 Psi). dried and filtered
701/h FIow rate
Nitrogen / Compressed air (Dried, cleaned):
501/h Flow rate
Vacuum: 850 mbar (640 Torr)
Power recuirements 400W
Voitage:
Japan system: 200 V, 50/60 Hz, Single phases, 3 Wire system
US System: 208 V, 50/60 Hz, Single phase, 3 Wire svstem
European system 230 V, 50/60 Hz, Single phase, 3 Wire system
2004 vintage.
EVG/EV GROUP 620 ist ein vollautomatisches Maskenausrichtgerät, das für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es verwendet eine Vielzahl von Industriestandard-Substraten und Belichtungsquellen, um reaktionsschnelle Ausrichtungsergebnisse zu liefern. Das System ist in der Lage, Auflösungen von 0,1 Mikron mit einer Wiederholbarkeit von innerhalb von 1 Mikron zu erreichen. Die hochpräzise Optik, die motorisierte Waferstufe und die integrierte Software von EVG 620 machen die Einrichtung und Steuerung des Belichtungsprozesses einfach und effizient. Die Belichtungsquellen des Aligners sind hocheffizient, so dass das Gerät eine Vielzahl von Aufträgen schnell und präzise ausführen kann. Die benutzerfreundliche Software des aligners erleichtert eine optimierte Arbeitseinrichtung und ermöglicht es Benutzern, den Fortschritt jedes Auftrags zu überwachen. Die Einheit besteht aus mehreren integrierten Komponenten, darunter eine computergesteuerte Maskenbelichtungsmaschine, eine motorisierte Waferstufe, ein Vorschubmotorantriebswerkzeug und eine Belichtungslampe. Die Belichtungslampe wird verwendet, um Licht mit kurzer Wellenlänge zu erzeugen, was eine maximale Auflösung und Wiederholbarkeit gewährleistet. Die motorisierte Waferstufe dient zur präzisen Steuerung der Waferbewegung und Belichtungsposition. Schließlich ermöglicht der integrierte Vorschubmotorantrieb dem Benutzer die Steuerung der Geschwindigkeit und Richtung des Belichtungsprozesses. Die EV GROUP 620 wurde entwickelt, um den Anforderungen der Halbleiterhersteller gerecht zu werden und bietet ihnen ein effizientes und kostengünstiges Werkzeug für Maskenausrichtungs-/Belichtungsaufgaben. Die intuitive Software des Modells sorgt auch für Benutzerfreundlichkeit und effiziente Arbeitseinrichtung, so dass Bediener den Prozess überwachen und hohe Genauigkeit und Präzision beibehalten können. Die robuste Konstruktion und der automatisierte Betrieb des aligner machen es zu einer idealen Lösung für diejenigen, die nach einer zuverlässigen, schnelllebigen Belichtungsanlage suchen.
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