Gebraucht EVG / EV GROUP 6200 #9223335 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9223335
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Mask aligners, 8"
Manual wafer load mask aligner (TSA+BIR)
With mask holder: 9”x 9”
Exposure mode: Soft contact / Hard contact / Vacuum contact
Lamp house: 1000 W
Range of alignment: X, Y: +/- 5 mm
Rotation: Theta +/- 3.5°
Actuated by analog 3 axes joystick
Resolution: 0.06 μm
Movements: Motorized
Alignment accuracy:
Top side alignment: 0.5 μm (With 20x objective)
Top to bottom side alignment: 1 μm (With 20x objective)
2110C2-E Radiation power system
Anti vibration table: 1000 W
User interface: Microsoft Windows based
Monitor screen
System PC
Keyboard
Cables
Joysticks
UPS
Operations manual
2006 vintage.
EVG/EV GROUP 6200 Maske Aligner ist ein hochentwickeltes Werkzeug für Photolithographie und Dünnschicht-Ausrichtungsprozesse bei der Herstellung von MEMS, Halbleiter- und Flachbildschirmen. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um Präzisionsverschiebungen in x-, y- und z-Achsen zu ermöglichen, um die beste Ausrichtung der Masken- (oder Schablonen-) und Substratschichten zu erreichen. Der EVG 6200 Maskenausrichter verfügt über eine In-Plan- und Out-of-Plane-Ausrichtbarkeit mit einer Positioniergenauigkeit von 0,5 µm pro Achse. Darüber hinaus verfügt es über ein hochauflösendes Kamerasystem mit Ausrichtpunkt und Knotenerkennung zur exakten Platzierung. Es ist auch kompatibel mit Standard-Standardoptik und Vakuumfutter bis 110mm Durchmesser. Die ergonomisch gestaltete integrierte Workstation umfasst Unit-on-Chip-Verarbeitung, schnelle asynchrone Steuerung und erweiterte Benutzeroberflächen. Alle Komponenten sind in ein integriertes industrielles Aluminiumgehäuse integriert und sitzen auf vibrationsfreien Luftlagern für beispiellose Stabilität. Diese Maschine ist mit einer automatischen Kalibrierungsfunktion ausgelegt, die die Bedienung vereinfacht und Wiederholgenauigkeit und Produktgleichförmigkeit gewährleistet. Darüber hinaus umfasst es die automatische Belichtungsfähigkeit, die variable Belichtungseinstellungen und Profile ermöglicht. Für maximale Produktivität beinhaltet es leistungsfähige manuelle Indextabellen und Betriebsstatusmeldungen, um eine effiziente Geräteverarbeitung zu gewährleisten. Mit seiner intuitiven grafischen Benutzeroberfläche kann der Maskenausrichter EV GROUP 6200 einfach auf die spezifischen Anforderungen der Kunden abgestimmt werden. 6200 Maske Ausrichter ermöglicht eine präzise Ausrichtung des Substrats mit dem Muster, Verringerung der Linienbreite und Funktion Fehlausrichtung. Die hochgenaue Positions- und Rotationsrückkopplungsmaschine garantiert minimale Ausrichtungsfehler, um die gewünschten Drucke zu erhalten. Das Werkzeug ist kompatibel mit verschiedenen Thermoplasten, Materialien mit niedriger Wärmeleitfähigkeit und Metallen für Druckkissen und Vias mit hoher Genauigkeit. Darüber hinaus ist dieses Tool sehr energieeffizient und trägt zur Reduzierung von Energiekosten und zur Erhaltung der Umweltqualität bei.
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