Gebraucht EVG / EV GROUP 640 #293689618 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 640 ist ein Masken-Aligner für den Präzisionsdruck von Mikron- und Submikron-Halbleiterstrukturen. Es handelt sich um eine Art optisches Lithographiewerkzeug, mit dem Muster von einem Retikel auf einen Wafer übertragen werden. Es ist ideal zum Drucken von Deep Submicron (DSM) -Merkmalen für komplexe Strukturen wie DRAM, Logik und Mixed-Signal-Designs. EVG 640 ist ein Vollfeldausrichter mit einer Auflösung von 0,5 μ m und einer Overlay-Genauigkeit von 0,25 μ m. Das Tool hat eine globale Überlagerung von +/2 μ m und eine lokale Überlagerung von +/1 μ m. Die EV GROUP 640 ist mit einem Top-Down-Projektionsgerät ausgestattet, das eine Vielzahl von Funktionen und Funktionen bietet. Das Werkzeug kann mit 1 Schicht bis 30 Schicht Retikel bei 4x, 5x oder 6x Laserreduktion drucken. Es hat eine Laserspitzengröße von 0,3 μ m, eine Feldgröße von 16 „× 16“ und eine Wafergröße von 14 „× 14“. Das Tool ist auch mit Micro-Wall und White-Wall-Bildgebungstechnologien ausgestattet, die einen hohen Fokus Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer bieten. Darüber hinaus weist das Werkzeug eine hohe Flexibilität in seiner Systemkonfiguration auf. Es kann kalibriert werden, um eine hohe Prozesswiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit zu gewährleisten und bietet eine Vielzahl von Belichtungsmöglichkeiten für unterschiedliche Anforderungen. 640 ist einfach zu bedienen und zu warten. Es verfügt über eine intelligente Bedienoberfläche, die es Benutzern ermöglicht, die Leistung der Einheit zu überwachen und Parameter einzustellen und Belichtungen anzupassen. Das Werkzeug ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen konzipiert, um Expositionsgefahren zu minimieren und das Kontaminationspotenzial zu reduzieren. Insgesamt ist EVG/EV GROUP 640 ein fortschrittliches optisches Lithographiewerkzeug, das Präzisionsdruck von Mikron- und Submikronstrukturen bietet. Es ist ideal für DRAM-, Logik- und Mixed-Signal-Designs und bietet große Flexibilität in der Maschinenkonfiguration. Das Werkzeug ist einfach zu bedienen und zu warten und verfügt über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um Qualität und Genauigkeit zu gewährleisten.