Gebraucht EVG / EV GROUP 640 #9200554 zu verkaufen

EVG/EV GROUP 640 ist ein vollautomatischer, mehrkammermaskenausrichter. Es wird bei der Herstellung von Präzisionsoptiken, Mikroelektroniken und Halbleiterbauelementen eingesetzt. Dieser Aligner ist ein Präzisionswerkzeug für die Platzierung und Überlagerung von Mustern, das minimale Verzerrungen und präzise Ausrichtungsgenauigkeit erzielt. Es ist in der Lage, 9 Mikrometer Platzierungsgenauigkeit und 10 nm Überlagerungsgenauigkeit zu erreichen. Dieser fortschrittliche Maskenausrichter verfügt über eine Vielzahl von Kernkomponenten, darunter ein 6-in-Durchmesser-Projektionsobjektiv, eine Roboter-X-Y-Z-Bühne mit 25 nm Auflösung und drei hochauflösende Digitalkameras. Das Gerät kann bis zu drei Masken pro Lauf verarbeiten und verfügt über zwei Belichtungsmodi, Einzel- und Mehrfachschuss, die eine schnelle und genaue Belichtung aller Ebenen ermöglichen. Die stigmas Transfer-Funktion der Maschine ermöglicht die Optimierung der Ausrichtgenauigkeit durch aktive Kompensation von Versätzen zwischen den Ebenen. Es bietet Sechs-Zonen-Ausrichtung für Ein- und Zwei-Schüsse-Expositionen. Das Gerät enthält auch eine Vielzahl anderer integrierter Funktionen, einschließlich elektrostatischer Chuck-Planarität und -Überwachung, schnellem Maskenaustausch mit Zero-Line-Move-Funktion, einer Vielzahl automatisierter Wafer- und Maskenhandhabungsfunktionen und geringer Partikelabscheidung. Es ist auch in der Lage, die Belichtung von mehrschichtigen Duplex-Spacer-Ausrichtung Substrate und bis zu vier Ausrichtung fiducials pro Job. EV GROUPEVG 640 ist ein leistungsstarkes und präzises Werkzeug für die Platzierung und Überlagerung von Mustern. Es bietet ein effizientes Verfahren zur Herstellung von Präzisionsoptiken, Elektroniken und Halbleiterbauelementen. Mit seinen robusten Eigenschaften ist es eine zuverlässige Lösung für hochpräzise Mikrofabrikationsanforderungen.