Gebraucht EVG / EV GROUP 640 #9200558 zu verkaufen

Hersteller
EVG / EV GROUP
Modell
640
ID: 9200558
Spare parts Robot controller Mercury lamp power supply Shutter Fly eye Mirror Lithography robot 2 (1 belongs to the 2nd machine, a spare part) Photo lithograph bottom microscope Mask holder Lithography mirror and board Pneumatic bar Image acquisition Control module Cable.
EVG/EV GROUP 640 ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der in der mikroelektronischen Fertigungstechnik eingesetzt wird. Es wird für Lithographieverfahren verwendet, wie zum Beispiel zur Belichtung von Kontaktdaten und anderen Mustern auf Halbleiterscheiben und Glassubstraten. EVG 640 eignet sich zum Ausrichten und Belichten einer Vielzahl von Substraten und in unterschiedlichen Auflösungsanforderungen. Es ist multifunktional und kann sowohl subtraktive als auch additive Prozesse sowie mehrstufige Prozesse durchführen. Die EV GROUP 640 kann eine Auflösungsgenauigkeit von bis zu 0,12 µm erreichen und ist somit ideal für die Herstellung kleiner Halbleiterchips wie DRAMs und SRAMs geeignet. Es kann auch große Flächen mit hoher Genauigkeit belichten. Dadurch eignet sich der Aligner gut für eine Reihe von Größen und Formen, darunter für Stöße und Vias in verschiedenen Größen und präziser Musterung. Seine gleichmäßige Ausrichtung, Belichtungsqualität und lange Lebensdauer machen es sehr zuverlässig für Produktionsläufe. Der Aligner enthält ein automatisches, integriertes Ausrichtungssystem, das Mustererkennungstechniken verwendet, um das belichtete Muster zu erfassen. Das Ausrichtungssystem kombiniert fortschrittliche Führungs- und Ortungstechnologien und eine Vielzahl verschiedener Strahlablenkungstechniken, um eine präzise und konsistente Ausrichtung zu gewährleisten. Die transparenten Substrathalter ermöglichen auch die Ausrichtung komplexer Topographie für fortgeschrittene Prozesse. 640 bietet maximalen Durchsatz bei geringen Kosten. Schnelle Belichtungen und einfach zu bedienende Software vereinfachen den Betrieb, sodass sich Anwender auf die Entwicklung und Optimierung ihrer Produktdesigns konzentrieren können. Es bietet auch eine modulare Plattform für die Anpassung und kann auf bestimmte Anwendungen zugeschnitten werden. Darüber hinaus ist die EVG/EV GROUP 640 mit einer Reihe fortschrittlicher Sicherheitsmerkmale ausgestattet. Dies umfasst ein fortschrittliches Sicherheitssystem, das vor unbefugtem Zugriff und Manipulation schützt, sowie Überwachungs- und Kontrollfunktionen, die rechtzeitige Warnungen und Warnungen über unsachgemäße Bedienung und potenzielle unsichere Bedingungen bieten. Insgesamt ist EVG 640 ein leistungsstarker und vielseitiger Maskenausrichter, der für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet ist. Es bietet hohe Genauigkeit, steife Wiederholbarkeit und robuste Sicherheitsmerkmale, die es zu einer idealen Wahl für Anwender machen, die zuverlässige und effiziente Lithographieverfahren suchen.
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