Gebraucht EVG / EV GROUP EV 640 #9287503 zu verkaufen

EVG (EV GROUP) EVG/EV GROUP EV 640 ist ein hochentwickelter Maskenausrichter für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Dieses Gerät eignet sich ideal für die Ausrichtung von Photomasken, die Abrechnung von Wafern, die Einstellung von Verarbeitungsparametern und die Genauigkeit der Ausrichtung. Es verfügt über hochpräzise XY Ω Positioniersysteme mit Wiederholbarkeit von +/-7,5 μ m und Nichtlinearität von +/-10 μ m. Angetrieben wird die Stufe von Linearantrieben mit einer Höchstgeschwindigkeit von 0,18 m/min. Es erreicht eine hohe Genauigkeit der Positionswiederholbarkeit und -stabilität sowie eine geringe thermische Drift. EVG EV 640 ist mit einem hochauflösenden Waferausrichtsystem und einer integrierten Lasermesstechnik ausgestattet. Die Wafer-Ausrichtmaschine ermöglicht eine hochgenaue Ausrichtung mit einem Offsetfehler von 30 nm und einer Genauigkeit von bis zu 10 nm mit einem integrierten Laserstrahl. Das automatisierte Scan-Muster und der Leistungsoptimierer des Lasermesstechnik-Tools sorgen für hohen Durchsatz und Genauigkeit. Darüber hinaus verfügt die EV GROUP EV 640 über ST Marks, optimierte Digitalkameras und patentierte M2M (Maske-zu-Maske) -Technologie zur präzisen Ausrichtung. EV 640 ist für die hochpräzise Fotomaskenausrichtung ausgelegt und mit einem Vakuumtor und einem softwaregesteuerten Evakuierungsgrad ausgestattet. Mit ihrer optischen Messkamera und ST Marks sorgt sie für eine genaue und wiederholbare Registrierung von Maskenmerkmalen. Die hochgenauen Schrittmotoren sorgen für eine genaue Ausrichtung der Masken und die integrierte TDC-5 Motorsteuerung für eine präzise Steuerung des Motorbetriebs. EVG/EV GROUP EV 640 eignet sich für Back-End-Lithographieanwendungen wie MEMS und Durchgangslochlithographie. Das Asset umfasst eine breite Palette von Softwarefunktionen, wie automatisiertes Laden und Entladen von Wafern, intelligente Wafer-Zuordnung und Ausrichtungsverfolgung, um eine schnelle und genaue Ausrichtung zu gewährleisten. Es ist auch kompatibel mit vollautomatischer Chargenverarbeitung und Nachverfolgung für die Serienproduktion. Insgesamt ist EVG EV 640 Maske Aligner eine leistungsstarke und präzise Plattform für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Seine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit machen es zur idealen Wahl für die anspruchsvollsten Produktionsumgebungen. Mit integrierten Systemen und leistungsstarker Software ist die EV GROUP EV 640 ein unverzichtbares Werkzeug für jedes Halbleiterlabor oder jede Produktionsstätte.