Gebraucht HTG 314-5 #114653 zu verkaufen
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ID: 114653
Wafergröße: 8"
Mask aligner, 8"
12" Lens substraight holder
Stereo zoom optics
500W Power supply.
HTG 314-5 Maske Aligner ist ein automatisiertes Gerät verwendet, um eine präzise und genaue Ausrichtung von Masken und Retikeln in der Herstellung von komplexen elektronischen Geräten zu gewährleisten. Die Maskenausrichtung ist ein wesentlicher Bestandteil der Photolithographie, des Prozesses der Übertragung einer Maske oder eines Retikelmusters auf ein Substrat über die Lichtbelichtung. 314-5 ist ein hochpräziser, hochgenauer Maskenausrichter, der für maximale Produktivität ausgelegt ist. Es verfügt über zwei unabhängige 10-Zoll-Hubstufen, die von Hochdrehmomentschrittmotoren angetrieben werden, und ein automatisiertes Sequenzierungssystem, das manuelle repetitive Abbildungszyklen eliminiert. Es hat auch ein Vakuumfutter mit einem Präzisionsbasis-Vakuumsystem, um eine flache, stabile Abbildungsoberfläche zu gewährleisten. Der Monitor ermöglicht die Anzeige von Live-Bildern und die automatische Mustererkennung. HTG 314-5 verwendet einen sehr vielseitigen 6-Achsen-motorisierten Manipulator, der sowohl die X-Y- und Z-Achse als auch die Rotationsbewegung zur präzisen Ausrichtung der Masken und Netze am Futter bereitstellt. 314-5 enthält ein modernes optisches Mikroskop zur Messung der physikalischen Eigenschaften sehr kleiner Substratabschnitte. Das Mikroskop kann auch zur Auswahl optimaler Punkte für die Ausrichtung verwendet werden. HTG 314-5 ist ein effizientes Gerät für die Montage vor der Maske. Es ermöglicht eine sehr schnelle und genaue Ausrichtung der Musterplatten oder Netze und der Substrate bei minimalem Benutzereingriff. Es hat auch mehrere Musterkorrekturfunktionen, um eine hohe Ausrichtungsgenauigkeit sicherzustellen. Dies ermöglicht schnelles Prototyping und parallele Produktionsabläufe. Es verfügt auch über Stapelverarbeitungsfunktionen und kann so programmiert werden, dass mehrere Aufträge nacheinander ausgeführt werden. 314-5 ist ein hochpräziser Masken-Aligner der Hitachi High Technologies Group. Die Vorrichtung ist für den Einsatz im Photolithographieverfahren ausgelegt und ermöglicht eine wiederholbare hochgenaue Ausrichtung der dabei eingesetzten Masken und Retikel. Es bietet schnelle und genaue Bildgebung, Kombination von mehreren Korrekturfunktionen und kann programmiert werden, um Batch-Prozesse auszuführen. HTG 314-5 bietet einen vielseitigen Maskenausrichter zur Verbesserung der Geschwindigkeit und Genauigkeit der Musterübertragung.
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