Gebraucht HTG 36-3 #69873 zu verkaufen

HTG 36-3 ist eine Maske Aligner Ausrüstung entwickelt, um Kontakt Lithographie zu erleichtern. Es handelt sich um ein dreistufiges System bestehend aus einem Belichtungswerkzeug, einem Entwicklungswerkzeug und einem Polier- und Ausrichtungswerkzeug (PAT). Das Belichtungswerkzeug ist so konzipiert, dass die Maske auf der Waferoberfläche freigelegt wird. Es funktioniert, indem die Maske in einem festen Winkel von 36 Grad mit einer 1-kW Xe-Lampe gescannt wird, deren Ausgang auf einen 13-Mikron-Punkt auf dem Wafer fokussiert ist. Das Development Tool verwendet dann einen hochselektiven Entwickler, um gewünschte Muster auf dem Wafer zu bilden. Der pH-Wert der Entwicklungslösung ist auf die gewünschte Selektivität einstellbar und wird von einer Autosyringe-Einheit mit einem Durchfluss von bis zu 2 Milliliter pro Minute geliefert. Das Werkzeug verfügt auch über eine Einlass- und Abgasklimaanlage und eine Kochplatte, um die Temperatur der Entwicklungslösung zu halten. Das Polier- und Ausrichtungswerkzeug (PAT) dient zur Verfeinerung und Ausrichtung der vom Belichtungswerkzeug und Entwicklungswerkzeug gebildeten Muster. Es ist mit zwei optischen Köpfen für zwei Ausrichtungssysteme ausgestattet. Das PAT verfügt über eine beheizbare Arbeitsstufe, einen Substrattisch mit kontrollierter Dicke und eine CCD-Kamera zur Bildbeobachtung. Es verwendet auch ein Laserinterferometer und einen CNC-Controller, um die Masken exakt relativ zum Substrat zu positionieren. Zusätzlich hat das PAT eine Polierfunktion, die es erlaubt, unerwünschte Partikel oder Oxidationsschichten zu entfernen, um glattere Muster zu gewährleisten. Insgesamt ist 36-3 ein zuverlässiges, effizientes Maskenausrichtwerkzeug, das die Bildung komplexer Muster auf einem Siliziumwafer ermöglicht. Es ist vorteilhaft für verschiedene mikroelektronische Gerätehersteller, die eine genaue Ausrichtung von Schaltungsmustern erfordern.