Gebraucht HTG UV 3000A #9115291 zu verkaufen
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HTG UV 3000A Maske Aligner ist ein Gerät in der Halbleiterherstellung Industrie zur Schaffung einer engen Ausrichtung von Maskenmustern auf Waferoberflächen verwendet. Es ist ein laserbasierter Masken-Aligner, der hochfokussiertes UV-Licht verwendet, um ein einzelnes Maskenmuster genau auf einen einzelnen Wafer zu positionieren. Diese Vorrichtung wird bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) und anderen elektronischen Geräten verwendet. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es für eine Reihe von Prozessen geeignet machen. Es ist ein- oder mehrmaskig ausrichtbar und kann zur Ausrichtung eines Maskenmusters auf ein anderes oder für Stereoausrichtungen eingerichtet werden. Der Schrittmotor und die Galvo-Systeme bieten eine hochpräzise Ausrichtung mit einer Genauigkeit von 1,5um und einer maximalen Auflösung von 0,3um. Das System verfügt über eine effiziente Ausrichtung und eine minimale Zykluszeit von 1,5 Sekunden. Das Gerät verfügt über eine integrierte Kamera für erhöhte Genauigkeit und verwendet eine selbstkalibrierende Projektionsmaschine, die eine präzise Maskenregistrierung und -ausrichtung ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über ein Vollfeld-Interferometer (FFI), das schnelle, genaue und reproduzierbare Scan-Monitorprüfungen bietet. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine laserbasierte Mustererkennung zur schnellen und genauen Rahmenerkennung. Es hat auch die Fähigkeit, on-the-fly Musteranpassungen durchzuführen, um eine präzise Maskenausrichtung zu gewährleisten. UV 3000A ist als All-in-One-Modell konzipiert, mit allem, was der Bediener für qualifizierte Fertigungsprozesse benötigt. Es verfügt über eine eingebaute optische Ausrüstung, die ein Verbundmikroskop, einen Videomonitor und einen Joystick-Controller umfasst. Das System ist benutzerfreundlich, mit One-Button-Operationen für bestimmte Aufgaben. Es verfügt auch über eine benutzerfreundliche CAD-Schnittstelle, die eine schnelle und einfache Aufgabendefinition und Parametereinstellung ermöglicht. Insgesamt ist HTG UV 3000A ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der für den Einsatz in komplexen Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Es ist eine effiziente und präzise Einheit, die eine enge Ausrichtung der Maskenmuster gewährleistet und eine effiziente Produktion mit Qualität und Zuverlässigkeit ermöglicht.
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