Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC 260MS022 #9316168 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC 260MS022 Maske Aligner ist eine leistungsstarke und präzise Lithographie-Ausrüstung für Dickresists und mehrschichtige Anwendungen. Es ist einer der fortschrittlichsten Maskenausrichter auf dem Markt und bietet eine einzigartige Kombination von Funktionen, darunter: hoher Durchsatz, optimierte Optik für Genauigkeit und Geschwindigkeit, hohe Bildauflösung und zuverlässige Automatisierung für effiziente und benutzerfreundliche Bedienung und Wartung. MICROTEC 260MS022 verwendet ein zweiachsiges gusseisernes geschlossenes Schleifensystem, um die Retikel- und Substrathalter genau entlang der X- und Y-Achse zu bewegen und das Retikel und Substrat genau zu fokussieren. Das Zwei-Achsen-Gusseisen-Design verbessert die Stabilität und minimiert die Vibration und bietet eine überlegene Ausrichtungsgenauigkeit. Der Aligner ist außerdem mit 12 µm vertikaler Verschiebung und einem eingebauten 3D-Profilometer ausgestattet, um das Profil des Resists nach der Belichtung zu messen und zu überprüfen. Der Aligner wird von einer fortschrittlichen Softwareplattform angetrieben, die alle Funktionen bietet, die für eine benutzerfreundliche Bedienung und Wartung erforderlich sind. Es umfasst leistungsstarke Tracking-, Ausrichtungs- und Inspektionsfunktionen, die automatisch präzise und genaue Ergebnisse liefern. Darüber hinaus bietet es Echtzeitüberwachung, Anpassungsfunktionen zur Feinabstimmung des Ausrichtungsprozesses sowie eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche zur Steuerung und Organisation des Workflows. KARL RUß 260MS022 ist in der Lage, eine sehr präzise Ausrichtungsgenauigkeit von ± 2µm mit einer Geschwindigkeit von 125µm/s zu erreichen. Die Geräte haben einen Vergrößerungsbereich von 0.75X bis 12.5x mit einer Auflösung von 3lp/cm bis 200lp/cm. Der Aligner kann die Verarbeitung von 2 „x2“ bis 8 „x8“ Vollfeld auf ein- oder doppelseitigen Substraten mit einem Durchsatz von 25 bis 40 Wafern/Stunde anbieten. Der Mask Aligner ist auch mit Lichtquelle und heller Feldbeleuchtung für verbesserte Kontrolle und Genauigkeit ausgestattet. Diese Eigenschaften kombiniert mit seiner hochwertigen Optik und Präzisionstechnik ermöglichen 260MS022 eine hervorragende Leistung, Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit. Diese umfassende Ausrüstung ist auf die Bedürfnisse der Serienproduktion ausgelegt und eignet sich ideal für Lithographieanwendungen in der Leiterplatten-, MEM- und Halbleiterindustrie.
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