Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9144075 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC BA 6 ist ein hochmoderner Maskenausrichter, der den Anforderungen der Mainstream-Halbleiterverarbeitung gerecht wird. Dieser Aligner nutzt fortschrittliche optische Ausrichtungs- und Messtechnikmerkmale zur präzisen Waferübertragung und präzisen Registrierung beider Facetten der Maske auf den Wafer. Mit einem einzigartigen und revolutionären Design ist die Ausrüstung benutzerfreundlich und bietet eine extrem genaue Maskenausrichtung. MICROTEC BA 6 ermöglicht die Lithographie bei hohen Auflösungen, was eine Beeinträchtigung der Ausrichtgenauigkeit begrenzt. Dies entspricht KE-Größen bis zu 0,4 µm und Ausrichtungsgenauigkeit von bis zu 1 µm Linienbreite. Der Aligner enthält einen einzigartigen Mechanismus zum separaten Ausrichten jeder Ausrichtungsfacette in XY-Richtung, was die Genauigkeit des Aligners erhöht. KARL RUß BA 6 integriert einen fortschrittlichen Metrologie-Modus, der eine präzise Rückverfolgbarkeit jedes Belichtungsparameters ermöglicht. Dieses System hat die Fähigkeit, Ausrichtungsfacetten, Maske zu Waferabständen und kritische Abmessungen mit hoher Präzision zu messen. Der Aligner verfügt zudem über eine hochpräzise Stufenbewegungssteuerung, die eine wiederholbare Ausrichtung und Belichtung von Merkmalen ermöglicht. Dieser Maskenausrichter enthält eine patentierte Inspektionsmaschine, die das Maskenmuster überprüft und Ausrichtungsfehler identifiziert. Darüber hinaus ermöglicht die Datenbankverbindung mit dem Tool die Optimierung der Ausrichtungsbedingungen durch den Einsatz statistischer Daten. Dies erhöht die Lebensdauer des Retikels, indem die Anzahl der schlechten Expositionen reduziert wird. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Funktionen bietet BA 6 einige der präzisesten Maskenausrichtungen auf dem Markt. Seine benutzerfreundliche Schnittstelle und Benutzerfreundlichkeit rationalisieren den Produktionsprozess für die Halbleiterherstellung.