Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9363766 zu verkaufen
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KARL RUß/MICROTEC BA 6 ist ein Spitzenausrichter für die Lithographie bei der Herstellung von Halbleiterprodukten. Dieser Aligner ist ein kompaktes und größeneffizientes Lithographiegerät, das für kleinere und komplizierte Chip-Layout-Prozesse oder höherauflösende Wafer-Fertigungsprozesse geeignet ist. Der Maskenausrichter arbeitet, indem er zuerst die Größe des zu belichtenden Chiplayouts einstellt, dann wird ein feingemahlenes Quarzglasresistmaterial auf die Oberfläche des Chips aufgebracht. Der Quarzglasresist wird dann mit einem UV-Lichtdurchlassband von 0,2 µm mit einer Wellenlänge von 193nm belichtet, während die Maske näher an die Chipoberfläche bewegt wird. Der Maskenausrichter verwendet dann seine fortgeschrittenen Positionier- und Strahlablenksysteme, um die Maske über den Chip zu bewegen. Die genaue Positionierung der Maske wird durch den Einsatz eines stabilen Laserreglers und eines hochauflösenden Linearmotors ermöglicht, während die Strahlablenkung eine gleichmäßige UV-Lichteinwirkung auf alle Bereiche des Chiplayouts gewährleistet. MICROTEC BA 6 aligner bietet zudem eine hohe Belichtungsgenauigkeit von bis zu 1.0um, was eine überlegene Schichtausrichtungsgenauigkeit aufgrund der angebotenen Kontrolle über die Größe von Chiplayoutstrukturen ermöglicht. Dieser Aligner ist auch in der Lage, Frequenzen bis zu 1000Hz abzutasten, was ihn für die Herstellung von Masken mit hohem Durchsatz geeignet macht. Darüber hinaus ist es mit einer motorisierten Zoomoptik und einem Rayleigh-Laserinterferometer für eine erhöhte Belichtungsgenauigkeit ausgestattet. KARL RUß BA 6 beinhaltet auch eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, die den Produktionsprozess erleichtern sollen. Dazu gehören eine SPS-basierte automatisierte Auftragstabelle, ein Sechs-Achsen-Ausrichtungssystem und eine Prägefähigkeit für Finish-Schichten. Darüber hinaus wird dieser Aligner von einem leistungsfähigen Computersoftwareprogramm begleitet, das eine detaillierte Analyse des Chiplayouts ermöglicht, das dann von Technikern verwendet wird, um den gesamten Layout- und Ausrichtungsprozess zu erleichtern. Insgesamt ist der BA 6 Masken-Aligner ein hochmodernes Lithographiewerkzeug, das bei der Herstellung von Halbleiterchips eingesetzt wird. Es kombiniert High-End-Positionierung und UV-Licht-Belichtung Fähigkeiten mit einer Vielzahl von erweiterten Funktionen, um eine effiziente und genaue Produktion von Halbleiterbauelementen zu erleichtern. Die hochgenaue Strahlablenkung ermöglicht auch eine präzise Ausrichtung der Chiplayouts, während sein hoher Durchsatz an 1000Hz es für den kommerziellen Einsatz geeignet macht.
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