Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC BA 8 #9382268 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
KARL RUß/MICROTEC BA 8 ist ein automatischer, hochpräziser, benutzerfreundlicher Maskenausrichter für den Einsatz in der Halbleitergeräteherstellung. Es ist für eine Vielzahl von photolithographischen Anwendungen optimiert, wie präzise Strukturierung von dünnen Filmen, Resistmaskierung und Wafer-Strukturierung. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und effizienten Arbeitsmodi bietet MICROTEC BA 8 eine ideale Plattform für eine schnelle und genaue Lithographie-Verarbeitung. KARL RUß BA 8 besteht aus einer Reihe von Komponenten, darunter einem 6-Achsen-Ausrichtkopf, einem automatisierten Wafer/Masken-Staging-Mechanismus, einem Wafer-zu-Masken-Ausrichtgerät und einem hochauflösenden Bildgebungssystem mit einem 10X-Zoomobjektiv, einer koaxialen Ausleuchtung zur Reduzierung und Minimierung von Kantenartefakten. Diese Komponenten sind optimal in einen kleinen Platzbedarf integriert, um Zeit zu sparen und höhere Auflösungen zu erzielen. Der Ausrichtkopf der BA 8 ist so konzipiert, dass er sowohl den Wafer als auch die Maske mit hoher Genauigkeit hält und bewegt. Die Wafer/Maske-Stufe besteht aus zwei mechanisch freien Motoren, die mit einem Präzisionsgeber und einer Fahrstufe gekoppelt sind, um eine genaue, wiederholbare Einpunktausrichtung in x- und y-Richtung zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet ein Präzisionsindexer wiederholbare Maskenbewegungen für Mehrbelichtungsausrichtungsprozesse. Die Wafer-zu-Masken-Ausrichtmaschine von KARL RUß/MICROTEC BA 8 verwendet eine Kombination aus Beleuchtungs-, Bildgebungs- und optischen Verschiebungstechnologien, um sowohl Wafer als auch Maske genau zu lokalisieren. Dies bietet einen effizienten, genauen Ausrichtungsprozess, der Beschichtungsfehler und andere Defekte reduziert, alles in einem automatischen Tieftemperaturbetrieb. Darüber hinaus ist das Maskenfutter mit einer hochauflösenden fiducial-Erkennungssoftware ausgestattet, um die Fehlausrichtung weiter zu reduzieren. Schließlich bietet das bildgebende Werkzeug von MICROTEC BA 8 eine hervorragende Auflösung bei kleinen Funktionsgrößen. Das 10x optische Zoomobjekt ermöglicht eine hochpräzise Strukturierung, während seine koaxiale Lichtquelle Schatten eliminiert und einen gleichmäßiger belichteten Resist gewährleistet. Darüber hinaus ist dieses Optikmodell integriert, um den Wafer an der Maskenbasis auszurichten, um die Variation kritischer Bemaßungen zu verringern. Insgesamt bietet KARL RUß BA 8 Masken-Aligner eine hochauflösende Musterung, die für die Herstellung großer Systeme mit Genauigkeit, Effizienz und Wiederholbarkeit erforderlich ist. Mit seinen überlegenen Eigenschaften und Fähigkeiten ist BA 8 die perfekte Wahl für eine kostengünstige Lithographie-Verarbeitung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor