Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293831979 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 1006 ist eine Maskenausrichtmaschine, die bei der Photolithographie eingesetzt wird. Dieses Verfahren besteht darin, einen photoresistbeschichteten Wafer mit einer Maske zu belichten, die ein Muster der von einer Bilderzeugungseinrichtung erzeugten gewünschten Merkmale enthält. MICROTEC MA 1006 verwendet ein hochgenaues Vollfeld-Bildgebungsgerät mit einem Arbeitsvakuumdruck von etwa 5x10-2 mbar, das ein hohes Maß an Mustertreue bietet. Die Maschine verfügt über eine digitale Zoom-Funktion mit einer Auflösung von bis zu 0,5 μ m, die eine Vielzahl von verschiedenen Photolithographie-Anwendungen ermöglicht. Um eine genaue Ausrichtung der Maske auf den photoresistbeschichteten Wafer zu gewährleisten, ist KARL RUß MA-1006 mit einem fortschrittlichen Vierpunktausrichtsystem ausgestattet. Diese Einheit besteht aus vier Platten, die exakt um den Wafer herum beabstandet und mit einer vollautomatisierten motorisierten Ausrichtstufe verbunden sind. Die Platten können so eingestellt werden, dass die Maske korrekt mit den Positionen der Merkmale auf dem photoresistbeschichteten Wafer übereinstimmt. Die Stufe wird von einem bürstenlosen Motor angetrieben, der eine hohe Bewegungsgenauigkeit sowohl für schnelle als auch für langsame Bewegungen bietet. Neben der Vierpunktausrichtmaschine kann die MA 1006 auch mit einem 3D-Neigungsdetektor ausgestattet werden, mit dem der auf der Maske vorhandene Neigungsgrad gemessen wird. Diese Neigungserkennungsfunktion eignet sich besonders für präzise 3D-Photolithographie-Anwendungen wie die Oberflächenmikrobearbeitung. KARL RUß/MICROTEC MA-1006 ist auch in der Lage, Dosismessungen durchzuführen, um die genaue Lichtmenge zu bestimmen, die für das gewählte Photolithographieverfahren benötigt wird. Diese Maschine bietet leistungsstarke Hochgeschwindigkeits-Lesefunktionen mit einer Ausleseauflösung von bis zu 350 μ m und ermöglicht eine hochgenaue Dosisanalyse. Abschließend ist KARL RUß MA 1006 eine zuverlässige Maschine für hochmoderne Photolithographie-Anwendungen. Ausgestattet mit einem hochgenauen Vier-Punkt-Ausrichtungswerkzeug, 3D-Neigungserkennungsfunktion und einem leistungsstarken Dosismessgerät, kann diese Maschine effektiv in einer Vielzahl von Photomasken-Anwendungen verwendet werden.