Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9180520 zu verkaufen
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ID: 9180520
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2004
Contact aligner, 4"
Type: ZE1000G / 175944
(6) Objectives
Reticle vacuum holder: Chucks, 2"-6"
2004 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 1006 ist ein hochpräziser, vollautomatischer Maskenausrichter, der auf anspruchsvolle photolithographische Anforderungen ausgelegt ist. Dieses fortschrittliche Tool ist perfekt für hochauflösende 6-Zoll-und 8-Zoll-Photolithographie-Aufgaben. Es ist ideal für die Schaffung von integrierten Schaltungen, MEMS und anderen Geräten auf Substraten wie Silizium, Metall, Glas und Verbundmaterialien. Dieses Tool bietet Benutzern die Möglichkeit, Masken mit einer Auflösung von bis zu 0,5 Mikron und einer Fokustiefe von bis zu 100 Mikron genau auszurichten. Es bietet auch die Flexibilität, Daten aus branchenüblichen Formaten wie GDSII und OpenAccess zu importieren, was eine schnelle und einfache Einrichtung ermöglicht. MICROTEC MA 1006 ist mit einem motorisierten optischen System für grobe und feine Ausrichtung ausgestattet und bietet eine hervorragende Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Für weitere Genauigkeit bietet KARL RUß MA-1006 eine optionale Mehrwinkelversion, die die Ausrichtwinkel von einem bis fünf verschiedenen Winkeln anpassen kann. Die Präzisionsautomatisierungssoftware ermöglicht es Benutzern, Parameter zu erstellen, zu bearbeiten und zu überwachen, um eine maximale Prozessgenauigkeit auch für die anspruchsvollsten Ausrichtungsanforderungen zu gewährleisten. Das System umfasst eine integrierte Messtechnik-Station, die eine Echtzeit-Ausrichtungssteuerung bietet, sowie eine vollständige Palette von Funktionen zur Analyse und Dokumentation von Ausrichtungsergebnissen mit sublinearer Leistung. Darüber hinaus verwendet dieses Tool fortschrittliche Technologien wie Photoresist Dispense und Post-Exposure Bake (PEB), so dass Benutzer den Waferdurchsatz optimieren können. Es verfügt auch über eine breite Palette von Ein- und Ausgabefunktionen, einschließlich einer vollständigen Ergänzung der Kommunikationsprotokolle, wie Ethernet, USB und serielle Ports. Die benutzerfreundliche und intuitive grafische Benutzeroberfläche macht die Datenverarbeitung und -einrichtung einfach und effizient. Dieser Masken-Aligner ist extrem robust und bietet zuverlässigen, sicheren und stabilen Betrieb bei minimaler Wartung. Es verfügt über ein modernes Sicherheitssystem mit einem manuellen und elektrischen Sicherheitsabschaltknopf für eine sichere Arbeitsumgebung. MA-1006 ist auch vollständig aktualisierbar und bietet die Möglichkeit, es mit optionalen Funktionen wie verbesserter Overlay-Genauigkeit, größerem Blattformat und erweiterten Automatisierungstools zu konfigurieren.
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