Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293601791 zu verkaufen

ID: 293601791
Weinlese: 2011
Mask aligner 2011 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 100E ist ein Masken-Aligner zur Bereitstellung von Photolithographie-Dienstleistungen für Anwendungen auf Halbleiterscheiben und anderen Substraten. Es ist ein Stück Präzision Positionierung Ausrüstung mit einem hohen Grad an Genauigkeit und Wiederholbarkeit. MICROTEC MA100E ist ideal für Forschungszwecke, die eine genaue Ausrichtung von Mikroteilen oder Komponenten auf einem Halbleitersubstrat erfordern. Es hat die Fähigkeit, das Substrat mit Maskenmustern mit einer Genauigkeitsausrichtungsgenauigkeit von ± 1 Mikron zu belichten. Es bietet Vielseitigkeit durch die Auswahl von Belichtungswerkzeugen, die einen selbstfokussierenden 6 "-Maskenhalter, einen 6" -Schrittschalter oder einen 6 "-Scanner umfassen. Der Stepper und Scanner haben verschiedene Retikel für den Einsatz mit verschiedenen Maskengrößen. Der Ausrichttisch von KARL RUß MA 100 E ist motorisiert und verfügt über ein Präzisionsrasterpositioniersystem, das eine genaue und wiederholbare Ausrichtung von Substraten und Masken gewährleistet. Eine automatische Verschlussfunktion ermöglicht schnelle und genaue Ausrichtungen. Diese Funktion wird über eine Soft-Touch-Tastatur aktiviert, die die Dateneingabe und Programmauswahl erleichtert. KARL RUß MA100E ist mit zwei optischen Systemen ausgelegt, eines für die Ausrichtung und das andere für die Belichtung. Das Ausrichtsystem ist mit einem semi-inversen Videomikroskop ausgestattet, das zusammen mit einem Encoder arbeitet. Das Belichtungssystem ist eine überlegene UV-Lampe mit automatisierten Rollläden. MICROTEC MA 100E verfügt über eine umfassende Software zur Programmierung, Dateneingabe, Prozesssteuerung und Ausrichtung. Es ist in der Lage, die Belichtungsintensität, die Nähe der Maske und den Zeitpunkt des Belichtungsprozesses zu steuern. MA100E ist für Anwendungen mit hoher Präzision/hohem Durchsatz ausgelegt. Der Herstellungsprozess unterliegt einer Reihe interner Tests, um feinste Qualitätsstandards zu zertifizieren. Dieser Aligner entspricht den neuesten Sicherheitsstandards einschließlich CE- und SEMI- S2-9001.
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