Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293607936 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 100E ist ein Präzisionsmasken-Aligner für die Fertigung fortschrittlicher Geräte auf Waferebene. Es hat eine Auflösung von 1 μ m und eine Gleichmäßigkeit basierend auf einer 3 σ Prozesssteuerung von 0,7 μ m. Das Gerät wurde mit einer vollflächigen Overlay-Ausrichtungsmethode entwickelt, die Hochgeschwindigkeitsausrichtung, In-situ-Task-Switching und erweiterte Verarbeitung ermöglicht. Der Generator verwendet fünf Köpfe mit einer 6 „oder 8“ Werkstückgröße, die durch einen Schnellwechselroboter schnell verändert wird. Es verfügt über einen 14-Bit-ADC und einen 13-Bit-DAC mit einer Verstärkung von 12.5dB. Die Schritt- und Wiederholgenauigkeit der Maschine liegt innerhalb von 0,2 μ m, und ihre Registriergenauigkeit liegt innerhalb von 0,3 μ m. Die Feldgröße ist einstellbar, mit einer Mindestfeldgröße von 0,6 mm und maximal 200mm. Der Systemcontroller von MICROTEC MA100E bietet eine anspruchsvolle Multi-Produktprogrammierung, die Möglichkeit, mehrere Designdatenbankeinträge zu definieren, und eine integrierte Datenbank, die die Produkte in der Prozessdatenbank abdeckt. Daten können zur wiederholten Produktion in eine Datenbank eingegeben werden. Das Gerät bietet eine Vielzahl von Bildgebungswerkzeugen, einschließlich fortgeschrittener Netznähte, Hochgeschwindigkeitssichtfokus, Ecknähte und bequemer Touchscreen-Steuerung. Es verfügt über eine Ausrichtungsregistrierung mit einer Fotomaskiereinheit, die eine schnelle und präzise Ausrichtung auf einer Vielzahl von Substraten bietet. Seine hochpräzise Mechanik unterstützt fortschrittliche Strukturen mit hohen Seitenverhältnissen und ein Schritt-und-Wiederholungs-Autofokus sorgt für präzise Bildübertragung und -registrierung. Seine fortschrittliche Lithographie-Maschine ermöglicht eine hochgenaue Ausrichtung und Belichtung kleiner Strukturen ohne Gerüste. KARL RUß MA 100 E bietet schnelle und genaue Ausrichtungen, die den Gesamtdurchsatz und die Ausbeute verbessern. Die intuitive und einfach zu bedienende Software gewährleistet eine hochwertige Waferfertigung und ist in der Lage, sehr hochauflösende Bilder zu erzeugen. Mit seiner hohen Genauigkeit und der integrierten Datenbank ist es eine ausgezeichnete Wahl für die Produktion auf höchstem Niveau in der Geräteherstellung.