Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9013165 zu verkaufen

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ID: 9013165
Weinlese: 2010
Mask aligner Able to handle 2” and 4” wafers cassette to cassette operation in auto and manual alignment mode Soft-contact and contact lithography possible Cassette stations ma100e/150e/spindle W-2-w-150 prealigner station non-contact Ma100/ma150/w-2-100 Optics uv400/hr/w-100/lh350/ma100e Lamp house lh350 including cic1200 [ma100e] Alignment system tsa [ma100e/ma150e] Designed as a dedicated mask aligner platform for on substrates up to 6" Precision alignment Substrate handling for fragile, warped and transparent wafers Resolution down to 0.7μm the MA100/150e Gen2 2010 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 100E Mask Aligner ist ein hochgenaues und zuverlässiges optisches Lithographiewerkzeug, das speziell für die Herstellung von Sub-Mikron-Merkmalen in photolithographisch hergestellten Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. MICROTEC MA100E ist mit seiner großen Feldgröße, Hochgeschwindigkeits-Scanning und Autofokus ideal für die Produktion von integrierten Schaltungen. KARL RUß MA 100 E setzt mehrere Schlüsselkomponenten und innovative Technologien ein. Es verfügt über ein Advanced Alignment Equipment (AAS), das Dual-Kameras und Software verwendet, um die Maske, den Wafer und das Retikel zum Drucken genau auszurichten. Dieses System ermöglicht eine hohe Genauigkeit der Ausrichtung auch innerhalb der z-Achse, die der vertikale Versatz zwischen Maske und Wafer ist. MA 100E nutzt eine High-End Large Area Illumination (LAI) Einheit. Diese Maschine bietet ein einheitliches Beleuchtungsmuster mit einer Kombination aus Faseroptik und LED-Technologie. Dieses Beleuchtungswerkzeug bietet auch eine präzise Kontrolle der Belichtung und Dosis, so dass eine bessere Kontrolle über gedruckte Muster. KARL RUß/MICROTEC MA100E verwendet einen fortschrittlichen Wafertransportmechanismus, der präzise beschichtet und Schritte entwickelt, um die Genauigkeit zu gewährleisten. Dies ist wichtig für Geräte, bei denen kleine Funktionen kritisch sind. KARL RUß MA100E verfügt über eine integrierte Bildanalyse, die die Optimierung von Expositionen und Dosissteuerung ermöglicht. Es verfügt über die Fähigkeit, hochauflösende Bilder von In-Process-Geräten zu erhalten, um sicherzustellen, dass die Parameter der Lithographie präzise und präzise sind. Darüber hinaus verfügt KARL RUß/MICROTEC MA 100 E über einen speziellen Steckplatz zum automatisierten Be- und Entladen von Retikeln sowie über eine Reihe funktionsreicher Softwareprogramme, die die Verwaltung von Gerätespezifikationen erleichtern und den Prozess schneller und effizienter machen. MICROTEC MA 100E verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Vakuum- und Staubschutz, sowie Leistungssteuerung und Schaltungsschutz für zusätzliche Sicherheit. MA100E ist eine langlebige und zuverlässige Maschine mit einer langen Lebensdauer und geringen Wartungsanforderungen. Es wurde entwickelt, um den Prozess der Herstellung komplexer und komplizierter IC-Designs zu optimieren und eine effiziente und kostengünstige Produktion von ICs zu ermöglichen.
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