Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185929 zu verkaufen
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ID: 9185929
Mask aligner
Missing part: WEC
Damaged parts:
Mercury lamp controller
Sensor
Cold plate glass
Non-functional
Currently installed.
KARL RUß/MICROTEC MA 100E ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter zur Herstellung von Geräten für die Mikrofabrikation. Das Gerät ist für die hochpräzise Ausrichtung von Siliziumscheiben, Masken und Substraten ausgelegt. Der MA100 Aligner besteht aus einem hochpräzisen optischen Teilsystem, das mittels Laserausrichtungstechnologie eine präzise Ausrichtung des zu bearbeitenden Objekts ermöglicht. Dazu gehören Laser unterschiedlicher Wellenlänge, wie Ultraviolett (UV) und sichtbares Licht. Es enthält auch eine Standard-Sechs-Zoll-Fotomaske und eine Submikron-Ausrichtungsgenauigkeit. Die Maschine ist in der Lage, eine Reihe von Aufgaben in einem einzigen Gerät auszuführen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, Photolithographie, Ionenfräsen und Ionenätzschritte. Dank seiner hochpräzisen optischen Ausrichtungstechnologie eignet es sich auch für Wafer-Würfel und architekturbezogene Aufgaben in mikroelektronischen Geräten. Es ermöglicht auch Musterfärbung auf Präzisionsfolie. Die MA100 verfügt über drei Hauptkomponenten: optisches Abbildungsmikroskop, Bühnen- und Messtechnik-Systeme. Das optische Abbildungsmikroskop ermöglicht eine hochauflösende Abbildung der bearbeiteten Geräte, so dass der Benutzer Lücken oder Fehlstellungen einstellen kann. Die Bühne bietet eine genaue Bewegung der Maske und des Substrats und ermöglicht eine präzise Musterausrichtung. In der Zwischenzeit wird das Messsystem verwendet, um die genaue Position und Ausrichtungsgenauigkeit der Geräte zu messen. Das MA100 verfügt über eine Reihe zusätzlicher KEs, wie z. B. mehrere Fokusebenen, die eine gleichzeitige Bearbeitung auf mehreren Ebenen ermöglichen. Es ermöglicht auch die Neupositionierung des Wafers während der Ausrichtung, so dass der Benutzer den Ausrichtungsprozess optimieren kann. Darüber hinaus verfügt es über ein Prozessstabilitätsmerkmal, das bei der Minimierung der kumulativen Fehler während der Verarbeitung hilft. Schließlich enthält es eine Statistikausgabefunktion, mit der der Benutzer den Verlauf des Bearbeitungsprozesses verfolgen kann. Zusammenfassend ist MICROTEC MA100E ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der bei der Herstellung mikroelektronischer Geräte verwendet wird. Es verwendet Laserausrichtungstechnologie, um eine präzise Ausrichtung von Wafern, Masken und Substraten sowie die Musterfärbung auf Präzisionsfolie zu ermöglichen. Es bietet auch eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, wie Prozessstabilität und Verfolgung von Fehlern, um einen reibungslosen und effizienten Bearbeitungsprozess zu gewährleisten.
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