Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185932 zu verkaufen

ID: 9185932
Mask aligner Missing parts: WEC Microscopes Spring arm Flowmeters Controller mercury Mercury mirror group Circuit board PCB26 Non-functional Currently installed.
KARL RUß/MICROTEC MA 100E mask aligner ist eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitungsanlage für die schnelle und präzise Ausrichtung photolithographischer Muster auf ein Substrat. Es wird für die Herstellung von komplexen Geräten für Anwendungen wie Flachbildschirme, integrierte Schaltungen und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) verwendet. Der Aligner verfügt über ein hochgenaues, hochauflösendes optisches System, das chromatische Aberrationskompensation (CAC) nutzt, um eine optimale Bilderzeugung zu gewährleisten. Die CAC-Einheit bietet eine verbesserte Auflösung für Funktionen, die klein und schwer zu identifizieren und auszurichten sind. MICROTEC MA100E bietet automatisierte Mustererkennung und Ausrichtung, um den Ausrichtungsprozess zu vereinfachen. Es verwendet eine einzigartige Kombination aus laserbasierten Sichtsystemen und Präzisions-x-y-Antriebsmechanismen, um Musterkantenpositionen genau zu messen und zu interpolieren. Dadurch wird eine genaue Ausrichtung innerhalb eines μ m oder kleiner gewährleistet. Die Maschine hat auch eine Hochleistungsmaschine von Z-axis Drive mit einer Entschlossenheit von 40 Mikron, die schnelle Aussetzung von Mustern auf Oberflächen der unterschiedlichen Dicke berücksichtigt. Es hat ein hohes Belichtungsfeld, das Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll aufnehmen kann. Darüber hinaus verfügt die Maschine über Touchscreen-Bedienelemente, die für den automatischen Betrieb oder die manuelle Steuerung programmiert werden können. Das Tool bietet auch integrierte Wafer-Handhabungssysteme, vollautomatische Fluidik, Näherungssensoren und ein Vakuumfutter, um eine Reihe von Prozessen zu erleichtern. KARL RUß MA 100 E ist kompatibel mit einer Reihe von Belichtungszeiten von 10 bis 500 Sekunden und ist mit einer Vielzahl von Chemikalien und Resistmaterialien kompatibel. Für erweiterte Maskenausrichtungsmöglichkeiten ist KARL RUß MA 100E eine ideale Wahl. Die einzigartige Kombination aus Features und Funktionen bietet die ideale Lösung für komplexe Geräte mit außergewöhnlicher Präzision.
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