Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185933 zu verkaufen
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ID: 9185933
Mask aligner
Missing parts:
Microscopes
Spring arm
Mercury controllers
Flowmeters
WEC
Chuck
Mercury mirrors
Circuit board PCB26
Non-functional
Currently installed.
MICROTEC MA {KARL RUß Autoaligner) 100E ist ein speziell für die Wafer-Lithographie entwickelter Maskenausrichter. Das Gerät nutzt tiefe UV (DUV) -Lichtquellen mit einer Belichtungswellenlänge von 365nm und hat eine maximal belastbare Wafergröße von 200mm. Dieses System eignet sich hervorragend für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente, einschließlich Photomaske und Retikelherstellung. KARL RUß/MICROTEC MA 100E verwendet luftlagerausgerichtete X/Y-Bühnentechnologie, die eine präzise Ausrichtung und hohe Auflösung bietet und somit für High-End-Produktionsumgebungen geeignet ist. MICROTEC MA100E hat eine Auflösung von 2,5 µm in x- und y-Richtung mit einer Genauigkeit von 2-5 µm und einer Z-Achsgenauigkeit von 25 nm. Seine hochpräzise Ausrichtung und Fokussierung garantiert Submikron-Auflösungsmuster mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Diese Ausrichtgenauigkeit wird durch die Implementierung einer automatisierten optischen Ausrichteinheit mit telezentrischer Linsenauslegung ermöglicht. KARL RUß MA 100 E ist mit einer umfassenden benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, Ausrichtungsprozesse schnell und einfach einzurichten und zu überwachen. Die integrierte grafische Windows-Benutzeroberfläche ist intuitiv und ermöglicht die einfache Integration automatisierter Rezepte für mehrere Anwendungen. Es bietet auch DICOM (Digital Imaging and Communications in Medicine) -Konfiguration mit bildbasierter Ausrichtung zur Platzierung von Mustern an der genauen Position relativ zum Wafer. MICROTEC MA 100 E hat auch eine hohe maximale Durchsatzrate von 1.500 Wafern/Stunde und ist somit eine ausgezeichnete Wahl für Serienanwendungen. Es bietet auch eine optionale fortschrittliche Kühlmaschine, die das Risiko von thermischen Verzerrungen während der Lithographie reduziert. Auch MICROTEC MA 100E ist umweltfreundlich. Es verwendet ein Umweltkontroll- und Luftstrom-Kühlwerkzeug, um den Lärmpegel und die allgemeine Umweltbelastung während des Betriebs zu reduzieren. Insgesamt ist KARL RUß/MICROTEC MA 100 E Maske Aligner ein idealer Maskenausrichter für die präzise und zuverlässige Geräteherstellung, speziell für die Photomasken- und Retikelherstellung. Dank seiner präzisen Ausrichtungs- und Fokussierungsfunktionen sowie seiner fortschrittlichen optischen Ausrichtungskapazität und der hohen Durchsatzrate ist es eine ausgezeichnete Wahl für High-End-Produktionsanwendungen.
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