Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185937 zu verkaufen
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ID: 9185937
Mask aligner
Damaged parts:
Mercury lamp controller
Sensor
WEC
Currently installed.
KARL RUß/MICROTEC MA 100E ist ein Maskenausrichter, der zur genauen Überlagerung von Photomasken auf einem Halbleitersubstrat verwendet wird. Die Maschine ist mit einem Quarzhalogenbeleuchter, einer computergesteuerten Bewegungsstufe und einer automatisierten Ausrichtsteuerung ausgestattet. Der Quarzhalogenbeleuchter weist eine hohe Leistung auf, die ein gleichmäßiges und intensives Intensitätsprofil bei Ausrichtvorgängen ermöglicht. Der Beleuchter hat auch einstellbare Intensitätsstufen, so dass es einfach ist, das Licht einzustellen, um den gewünschten Effekt zu erzeugen. Die Positionierung des Leuchtmittels kann auch ferngesteuert werden, was eine exakte Positionierung und einen exakten Winkel des Lichts ermöglicht. Die bewegliche Bühne verfügt über eine motorisierte Antriebseinheit, die es ermöglicht, sich mit einer Geschwindigkeit von bis zu 50 mm/s in der X-, Y- und Z-Achse zu bewegen. Dadurch ist es möglich, Photomaske und Substrat gleichzeitig genau zu positionieren. Die Positionierung kann mit einer Toleranz von bis zu +/-0,1 µm zur Ausrichtung der beiden Komponenten erreicht werden. Die automatisierte Ausrichtungssteuerung ist das Gehirn der Maschine. Dies ermöglicht die schnelle und genaue Ausrichtung von Photomaske und Substrat. Der Controller verwendet eine Kombination aus Kantenerkennung, Autofokusausrichtung und einer Vielzahl weiterer Funktionen, um die Genauigkeit im Ausrichtungsprozess sicherzustellen. Es ist auch mit dem Rechner verbunden, so dass komplexe Ausrichtungsprozesse ausgelegt und gesteuert werden können. MICROTEC MA100E ist bekannt für seine hervorragende Leistung und Fähigkeit, auch komplexe Photomaskenstrukturen exakt auszurichten. Es ist in der Lage, Submikron Overlay Genauigkeit und hat eine beeindruckende Langlebigkeit. Darüber hinaus ist die Maschine einfach zu bedienen und zu warten, was sie zu einer beliebten Wahl in der Halbleiterindustrie macht.
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