Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185938 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 100E ist ein UV (UV) -Photolithographie-Maskenausrichter, der zur Herstellung integrierter Schaltungen, funktionaler mechanischer Strukturen und anderer 3D-Strukturen mit Mikro- und Nanofabrikationstechniken verwendet wird. Die Ausrüstung bietet höchste Präzision UV-Photolithographie zur Verfügung, mit einem Arbeitsbereich von 5 Zoll. x 8 in. Es eignet sich für eine breite Palette von industriellen und akademischen Anwendungen. MICROTEC MA100E verfügt über zwei 540 nm CW Laserlichtquellen (6W und 4W). Ein optischer Leistungsmesser sorgt für genaue Leistungseinstellungen. Die Komponenten sind in einer thermisch abgeschirmten Box für Stabilität und Haltbarkeit untergebracht. Das System hat auch eine bewegliche Stufe, um das Substrat in Bezug auf die mm-auflösende Maskenplatte genau zu positionieren. Die dreiachsige motorisierte Stufe hat eine Auflösung von 0,1 um und eine maximale Geschwindigkeit von 2000 um/sec. Die Einheit weist mehrere vorteilhafte Merkmale wie automatische Maskenregistrierung, niedrig konstante Merkmalsaberrationen, geringe thermische Drift, hochauflösende Bilder und verbesserte Überlappungskorrektur auf. KARL RUß MA 100 E ist zudem mit einer HMI-Bedienoberfläche mit einem Touch-Panel ausgestattet, das bis zu 8 Programmierschritte für präzise Wiederholbarkeit bietet. Der Bediener kann Parameter wie Belichtungszeit, Wiederholungszählung und Ausrichtung einschließlich Maskenausrichtung, XY-Ausrichtung und Wiederholungsausrichtung anpassen. KARL RUß MA100E erzeugt mit einer UV-Fotomaske bis zu 256 Lichtstrahlen mit einem kreisförmigen Strahldurchmesser von 6um. Die maximale Projektion des Bildes auf das Substrat beträgt ± 5 mm auf X- und Y-Achsen bei einer maximalen Auflösung von 0.5um. Zur präzisen Strukturierung ist die Maschine auch zum Plasmaätzen in der Lage. Das Werkzeug kann eine breite Palette von Strukturen erzeugen, von Nanometermerkmalen bis zu Mikrometerskalen. Schließlich ist KARL RUß/MICROTEC MA100E auch mit einer Aluminium-Schutzmaske ausgestattet, die Streulicht blockiert, die empfindliche Materialien beschädigen kann. Die Anlage verfügt auch über Sicherheitsfunktionen wie einen Schlüsselschalter, Bewegungserkennung und UV-Lichtverschluss. Zusammenfassend ist MICROTEC MA 100E ein fortschrittlicher UV-Fotolithographie-Maskenausrichter mit erweiterten Funktionen wie automatischer Maskenregistrierung, niedrig konstanten Funktionsaberrationen, niedriger thermischer Drift, hochauflösenden Bildern und verbesserter Überschneidungskorrektur. Das Modell ist eine ausgezeichnete Wahl, um präzise Muster auf verschiedenen Substraten zu erstellen.