Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278299 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 100E Mask Aligner ist ein ganzheitliches Photolithographiesystem, das für verschiedene mikroelektronische Anwendungen wie Mikroherstellung, Nanoproduktion und mikroelektromechanische Systeme (MEMS) entwickelt wurde. Das Gerät ist ein automatisiertes System, das Oberflächenmerkmale mit räumlicher Auflösung im Mikron- und Nanometerbereich strukturieren kann. Es verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit einem großen 11,6-Zoll-Touchscreen, der die Steuerung der Mikropositionierer und Geräteparameter ermöglicht. Der Regler ist mit vier Freiheitsgraden ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit und Lithographie ermöglichen. Das optische System des Maskenhalters verfügt über Autofokus-Funktionalität und gewährleistet die Genauigkeit der Ausrichtung mit der Maske auf innerhalb von 2 μ m. Die Lichtquelle ist ein LED-Array mit einer maximalen Beleuchtungsstärke von 31000 mW/m2 und einer einstellbaren Gleichmäßigkeit von 80% oder besser. Die Lichtquelle bietet eine Vielzahl von Wellenlängen einschließlich grün, blau oder ultraviolett für verschiedene Anwendungen. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine variable Intensitätsregelung zur weiteren Steuerung der Belichtung. Die Lithographiestufe kann Wafer oder Substrate bis zu 150 mm Durchmesser aufnehmen, mit 2-Zoll und 4-Zoll-Adaptern für kleinere Substrate. Es ist mit einem Vakuumspannmechanismus ausgestattet, um höchste Genauigkeit bei Ausrichtung und Belichtung zu gewährleisten. Für trockene und wasserlösliche Resiststoffe steht eine exponierte Materialschale zur Verfügung. Die Ablaufzeit des Prozesses kann mit Hilfe eines übergebenen Echtzeittimers überwacht werden. Schließlich verfügt das Gerät auch über eine höchste Laufwiederholbarkeit von 1,5 μ m und eine Laufnahtgenauigkeit von 0,5 μ m. Die Hochleistungskonstruktion, Flexibilität und Genauigkeit von MICROTEC MA100E Mask Aligner machen es zu einem idealen Werkzeug für selbst die fortschrittlichsten Anwendungen in der Mikro- und Nanoproduktion.