Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278360 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9278360
Mask aligner
Missing / Damaged parts:
UPS
Mercury lamp controller
2011 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 100E ist ein Maskenausrichter, der die Kontaktausrichtung von hochpräzisen photolithographischen Maskenmustern auf Halbleiterscheiben ermöglicht. Die Ausrüstung ist extrem genau, mit der Fähigkeit, sich bis zu einer Genauigkeit von drei Mikrometern oder weniger zu registrieren. Zusätzlich ist der Maskenausrichter bei 40 mm x 40 mm Fläche ausrichtbar und präzise genug, dass die Kanten der Marke innerhalb von drei Prozent Genauigkeit ausgerichtet sind. MICROTEC MA100E verwendet ein optisches System, das eine motorisierte Bühne und einen Kopf über einen XY-Positionierer umfasst. Die Kopf-/XY-Stufen von KARL RUß MA 100 E verwenden leistungsstarke Schrittmotoren und Glascodierer, die eine Auflösung von 5 Nanometern in der XY-Ebene ermöglichen. Dies ermöglicht eine präzise Ausrichtung des Zielsubstrats auf die gemusterte Maske. MA 100 E ist auch zur automatisierten Musterabtastung in der Lage und verfügt über eine Power Zoom-Optik, die von 4x bis 16x zoomen kann. Die Maschine kann in hoher Auflösung bis zu 16 Stufen auf einem Stempel auslesen, um die Details des Musters genau auszurichten. Neben seinen präzisen Ausrichtungsmöglichkeiten bietet MICROTEC MA 100E auch eine Reihe weiterer Funktionen, die die Halbleiterherstellung effizienter machen sollen. Der Maskenausrichter verfügt über eine kapazitive Zeitsteuerschaltung, die eine genaue Zeitsteuerung der Belichtung ermöglicht. KARL RUß MA 100E bietet auch einen automatischen Verschluss an, der aktiviert werden kann, um bei einer Störung eine Freilegung des Wafers zu verhindern. Der Masken-Aligner ist auch mit unabhängigen Heizungen und integrierter Mustererkennungssoftware ausgestattet. Insgesamt ist KARL RUß MA100E mask aligner ein leistungsfähiges und präzises Werkzeug zur Ausrichtung von Photolithographiemasken auf Halbleitersubstrate. Die Schrittmotoren und Glascodierer des Werkzeugs ermöglichen eine präzise Ausrichtung mit einer Auflösung von 5 Nanometern in der XY-Ebene. Darüber hinaus enthält MICROTEC MA 100 E mehrere zusätzliche Funktionen wie eine kapazitive Zeitschaltung, eine automatische Verschlussklappe und unabhängige Heizungen, was es zu einem leistungsstarken und vielseitigen Werkzeug für die Halbleiterproduktionsindustrie macht.
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