Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9389780 zu verkaufen

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ID: 9389780
Weinlese: 2011
Mask aligner Damaged parts: UPS Mercury lamp controller 2011 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA 100E mask aligner ist ein hochpräzises, kostengünstiges Gerät für eine Vielzahl von Anwendungen wie Photolithographie, Halbleiter-Optoelektronik und Optik. Es automatisiert die Aufgaben des Ausrichtens und Belichtens von Masken auf Substraten und nutzt dabei anspruchsvolle Software- und Hardwarefunktionen. MICROTEC MA100E ist mit einem Vakuumfutter zum sicheren Halten des Substrats und einer zweiachsigen, hochpräzisen Stufe ausgestattet. Es verfügt über eine maximale Auflösung von 10 µm und eine Wiederholbarkeit von 5 µm. KARL RUß MA 100 E ist mit einer intensiven UV-Halogenlampe gebaut, die Funktionsgrößen von bis zu 3 µm bietet. Das integrierte kamerabasierte Auto-Alignment-System ermöglicht es Benutzern, bildbasierte Ausrichtungsmarken zu verwenden, während die integrierten integrierten Sensoren es Anwendern ermöglichen, hochpräzise und schnelle Ausrichtungskorrekturen durchzuführen. Das Gerät bietet auch eine automatische Fokuserkennung, sorgt für wiederholbare Ergebnisse und bietet unerreichte Auflösung und Genauigkeit für hochpräzise Photolithographie-Anwendungen. Die integrierte XY-Stufe ermöglicht Masken- und Substratgrößen bis 100 mm. Die Stufe verfügt über ein robustes, vibrationsarmes Linearmotor-Antriebssystem mit 0,5 μ und 25 μ m Wiederholbarkeit. Die langsamen und schnellen Motordrehzahlen können zur Präzisionsausrichtung bzw. zur optimierten Stufendrehzahl eingestellt werden. Die schnelle Motordrehzahl kann auf bis zu 200mm/s eingestellt werden, während die langsame Motordrehzahl bis zu 1mm/s beträgt. KARL RUß MA 100E verfügt auch über optische, fluidische und elektrische Durchlässe, so dass Photoresist mit minimaler Verschmutzung übertragen werden kann, und Übersprechkompensation geschlossener Schleife, um globale Substratbewegungsfehler zu beseitigen. MA 100E ist mit einer ergonomischen Bedienkonsole ausgestattet, mit der Benutzer das Gerät mit einer einfachen Tastaturschnittstelle steuern können. Die Bildschirmanzeige sorgt für Benutzerfreundlichkeit, während die integrierten Diagnosetools eine schnelle Fehlerbehebung und Problemlösung ermöglichen. KARL RUß/MICROTEC MA100E ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen programmiert, die den Ausrichtungs-, Belichtungs- und Kontaktprozess für eine Vielzahl von Substraten automatisieren, darunter Siliziumscheiben, Quarz, Lithiumniobat, Polyimid und Keramik. Die automatische Reinigungsfunktion ermöglicht eine effiziente Entfernung der Restreinigungslösung, was zu weniger Kontaktzeit an kritischen Stellen und schnelleren Masken-/Substrataustauschzeiten führt. Schließlich verfügt das Gerät über umfassende Sicherheitsmerkmale, darunter einen Halogensicherheitsverschluss und ein CE-zertifiziertes Scannen der Sicherheitsklasse 1. MA 100 E ist ein fortschrittlicher und zuverlässiger Maskenausrichter, der die Programmierzeit minimiert, Abfall durch unvollkommene Ausrichtung minimiert und Präzision und Durchsatz für eine breite Palette von Photolithographie- und Optoelektronik-Anwendungen maximiert.
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