Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 12 #293808783 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 12 ist ein Maskenausrichter, der in der Photolithographie zur Übertragung von Musterstrukturen mit hoher Auflösung verwendet wird. Es verfügt über eine automatisierte Wafer-Handling-Ausrüstung, die 25mm bis 200mm Wafer mit einem Hochvakuum-Spannfutter zur genauen Ausrichtung unterstützen kann. Es ist ein programmierbares Belichtungswerkzeug, das mit seiner intuitiven grafischen Benutzeroberfläche einfach bedient wird. Es verfügt über einen Wellenlängen-Abstimmbereich, der einen weiten Wellenlängenbereich von Nahinfrarot (NIR) bis zu UV-Lichtquellen erfassen kann. MICROTEC MA 12 verfügt über eine genaue Positionierungssteuerung mit X-, Y- und Theta-Achsen, um eine präzise Ausrichtung des Musters über dem Wafer zu gewährleisten. Es verfügt über ein fortschrittliches Projektionsoptiksystem mit einer numerischen Apertur von 0,28 und einer optimierten Abbildungseinheit, um eine optimale Bildqualität zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über eine automatische Auswahl der besten Belichtung für das gescannte Feld und eine integrierte Fokus-Tuning-Maschine für einstellbare Tiefenschärfe. Das Hauptmerkmal von KARL RUß MA 12 ist die dosisabhängige partielle Expositionskontrolle. Diese Funktion ermöglicht eine Submikron-Auflösung von Mustern und wird für die hochpräzise Verarbeitung mehrerer Schichten verwendet. Es bietet auch programmierbare Schichtdicken Einstellung und rezeptbasierte autonome Verwendung für eine Vielzahl von Anwendungen. Dieses Merkmal stellt sicher, dass feine und hochpräzise Strukturen für Anwendungen wie Lithographie und Nanoaufdrucken zuverlässig definiert werden können. Zu den weiteren Merkmalen gehören eine wiederholbare Maskenhandhabung mit automatisiertem Shuttle-Tool, Teleskopverschluss und programmierbarer Filmhalterung sowie ein integriertes Vakuum-Asset. Es hat auch zwei Heizsysteme, eine für die Basistemperatur und die andere für die Temperaturregelung von Maske und Wafer. Darüber hinaus kann die Scanner-Ausrichtungsoption in der Software zur Feinabstimmung der Ausrichtungsgenauigkeit verwendet werden. MA 12 ist ein verbesserter Maskenausrichter, der für verschiedene Arten von photolithographischen Prozessen verwendet werden kann. Es verfügt über hervorragende Leistung, hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit und eignet sich somit perfekt für komplizierte und komplexe Präzisionsprozesse. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche und mehrere automatisierte Funktionen machen es einfach zu bedienen und zu warten. Die Flexibilität und Genauigkeit von KARL RUß/MICROTEC MA 12 macht es zu einem wertvollen Werkzeug für industrielle, forschende und wissenschaftliche Anwendungen.