Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 14 #9281941 zu verkaufen

KARL RUß/MICROTEC MA 14 ist ein vollwertiger halbautomatischer Maskenausrichter, der in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. MICROTEC MA 14 wurde entwickelt, um Photomasken mit genauer Pixelregistrierung auf einen photoresistbeschichteten Wafer auszurichten. Es verfügt über eine kontinuierlich einstellbare x-y-Bühne, um präzise Relativbewegungen zwischen der Maske und dem Wafer zu erleichtern. KARL RUß MA 14 nutzt ein duales optisches System, um ein zusammengesetztes telezentrisches Bild sowohl des Wafers als auch der Maske zu erzeugen. Dieses Bild dient als Referenz zur Auswertung der Ausrichtung zwischen Maske und Wafer. Zur Ermittlung des Bezugsreferenzpunkts wird ein integriertes Laserfadenmodul verwendet. Dies ermöglicht präzise wiederholbare Ausrichtungen zwischen Maske und Wafer. Die MA 14 nutzt auch ein zweidimensionales Kamerasystem zur automatisierten Routineausrichtung. Die automatisierte Ausrichtung erfolgt durch Einführung eines Stufenmusters, das im Ausgangsbild detektiert wird. Durch Berechnung der Verformung des Musters kann der Autofokus den Abstand zwischen Maske und Wafer genau einstellen. Zusätzlich kann die Ausrichtung mit einem Soft-Touch-Merkmal durchgeführt werden, welches die relative Lage der Ausrichtmarken einstellt, ohne andere Ausrichtelemente zu stören. KARL RUß/MICROTEC MA 14 verfügt zudem über eine benutzerfreundliche Tastatur mit digitalem Display. Die Anzeige zeigt eine aktuelle Zusammenfassung der für jede Ausrichtung benötigten Parameter an. Die benutzerfreundliche Tastatur ermöglicht es dem Benutzer auch, Befehle für die Abwicklung des Ausrichtvorgangs einfach in das Aligner einzugeben. MICROTEC MA 14 ist ein vielseitiger Aligner, der nicht nur hochpräzise Marken und Etiketten bietet, sondern auch verschiedene Messmodi umfasst, um die Messung und Charakterisierung von Wafermerkmalen zu erleichtern. Dazu gehören Overlay-Analyse, Abstandsmessung und Rastersuche nach KE-Position und Charakterisierung. KARL RUß MA 14 ist der perfekte Ausrichter auf Branchenebene für Wafer-Fertigungsanwendungen. Der vielseitige Funktionsumfang ermöglicht eine genaue und präzise Ausrichtung von Photomasken auf photoresistbeschichtete Wafer. MA 14 bietet zuverlässige, wiederholbare und genaue Ausrichtungen, die eine hochwertige Waferproduktion gewährleisten.