Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9105740 zu verkaufen
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ID: 9105740
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
Mask aligner, 6"
Pattern recognition
CIC 1200
UV 400 optics
1000 Watt lamp housing
2001 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 CC Maske Aligner ist ein modernes automatisiertes Photolithographie-Tool. Es ist ideal für die Verarbeitung von kleinen Geräten mit komplexen Geometrien. Speziell ist MICROTEC MA150CC für Geräte mit einem Größenbereich von 1mm - 150mm geeignet. Merkmale wie automatische Werkzeugkalibrierung, wiederholbare Ausrichtungsgenauigkeit und hochauflösende Bildgebung machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von feinen Linien-Fotoresists auf einer Vielzahl von Wafern von 0,75 Zoll bis 6 Zoll Durchmesser. KARL RUß MA 150CC besteht aus einer integrierten Plattform mit Lichtquelle, Waferkammer, Schrittmotor und präzisen optischen und mechanischen Komponenten. Die Lichtquelle erzeugt UV-Strahlung, die für die Belichtung von Photoresists erforderlich ist. Es enthält eine integrierte Quecksilberbogenlampe für hohe Leistung sowie Glühlicht für visuelle Inspektion. Die Waferkammer ist eine Präzisionsquarzkammer mit 100 mm Gate und Langmuir-Blodgett Filmabscheidung, die eine gleichmäßige Beschichtung des Wafers ermöglicht. Darüber hinaus ist die Kammer mit einer Entlüftung zur Steuerung der Atmosphäre ausgestattet. Der Schrittmotor ist so konzipiert, dass er eine präzise mikroskopische Positioniergenauigkeit bietet, die eine kritische Dimensionsfehlausrichtung minimiert. Der Stepper ist mit einer 1 mm Drehpunktgenauigkeit konstruiert, die für die Belichtung von Photoresists entscheidend ist. Darüber hinaus umfasst diese fortschrittliche Ausrüstung eine integrierte Ausrichtungssoftware zur präzisen Ausrichtung von Maske und Substrat. Das System umfasst auch eine Ausrichtungsüberwachungseinheit, um die Genauigkeit während der Belichtung aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus bietet MICROTEC MA-150CC hochauflösende Bildgebung mit einer Auflösung von weniger als 0,25 Mikrometer. Dies bietet eine überlegene Bildgebung und Musterdefinition auf den kritischsten Geräteebenen. KARL RUß MA-150CC verfügt auch über eine erweiterte Roboterautomatisierungsfähigkeit, die es ermöglicht, Wafer in die Belichtungskammer hinein und aus dieser heraus zu sichten, auszurichten und zu übertragen. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine eine schnelle Umstellung und bietet gleichbleibende Qualität und Leistung. Insgesamt ist MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner ein fortschrittliches Photolithographie-Tool, das überlegene Leistung liefert. Es ist gut geeignet für die Herstellung von hochauflösenden und feinen Linien Photoresists auf einer Vielzahl von Substraten, und seine integrierte Automatisierungsmaschine bietet gleichbleibende Qualität und Leistung. Die Maschine kann Wafer von 0,75 Zoll bis 6 Zoll Durchmesser handhaben und bietet ausgezeichnete Genauigkeit und Präzision mit Auflösung bis zu 0,25 Mikrometer. Alle diese Merkmale machen KARL RUß MA150CC eine ideale Wahl für die Herstellung komplexer Geräte mit komplizierten Geometrien.
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