Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9229272 zu verkaufen

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ID: 9229272
Mask aligner Power supply: CIC 1200 PC Type: DSM-P233 MMX Relay interlock box TSA camera: XC-50 TSA objectives: 5 x / 0.15, 10 x / 0.30, 20 x / 0.40 BSK microscope: 520R Rechts / Right BSA-Camera 264537 Rechts / Right Cognex 5000 Power meter Exposure optics: UV 400 Prealigner Prealigner sensor head: SI / GAAS / INP Mask holder Chuck Main microcontroller: Input card: 260PC105-05 Input card: 260PC113-01 D/A Cov DVM²: 260PC102-05 Parallel input / Output exp BSA: 260PC103-03 Valve driver: 260PCPC103-01 Funnel prealigner: 260PC129-02 Manipulators: 260PC116-01 D/A Conv DVM BSA: 260PC102-05 Motor driver DVM²: 260PC109-02 Elevator right: 260PC119-01 Elevator left: 260PC119-01 Microscope x-motor: 260PC119-03 Mask x-motor: 260PC156-04 Microscope y-motor: 260PC119-03 Mask y-motor: 260PC156-04 Microscope motor: 260PC119-03 Mask motor: 260PC156-04 Z-Axis: 260PC119-03 Wafer transfer: 260PC126-03 4 Channels A/D card MOM: 260PC176-03 CPU MOM: 260PC105-16 Stage driver MOM: 260PC168-06 Valve driver 3CB: 260PC104-01 Power supply standard: 260PC124-02 Power: 230 V Lamp: 350 Watt bulb 2002 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 CC ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der bei der Herstellung von nanostrukturierten oder mikrofabrizierten Bauelementen wie Halbleiterchips, Sensoren und nanoelektromechanischen Systemen (NEMS) eingesetzt wird. Der Aligner ist in der Lage, verschiedene Masken mit einer Genauigkeit von bis zu einem Nanometer aufeinander auszurichten. Es verwendet eine Nahfeld-optische Ausrüstung, die mit einer hochpräzisen Stufe gekoppelt ist, um eine extrem genaue Ausrichtung zu erreichen. Dieses System ermöglicht auch die schnelle Ausrichtung mehrerer Masken. MICROTEC MA150CC bietet eine Vielzahl von Funktionen, um sicherzustellen, dass jedes neue Gerät genau positioniert und bereit für die lithographische Verarbeitung ist. Mit dem anpassbaren Ausrichtungsarbeitsbereich des Geräts, dem Algorithmus für die On-Axis-Korrektur und dem automatisierten Wafer-Scan für eine verbesserte Gerätegenauigkeit bietet dieser Masken-Aligner eine unübertroffene Präzision und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus kann die Maschine jede unbeabsichtigte Wafer-Fehlausrichtung erkennen, so dass Benutzer Korrekturen vornehmen können, ohne den gesamten Prozess stoppen zu müssen. KARL RUß MA 150CC Werkzeug ist mit variabler Blendensteuerung ausgestattet, um sicherzustellen, dass während des lithographischen Prozesses nur die gewünschte Fläche freigelegt wird. Seine automatisierte optische Zentrierung minimiert den manuellen Anpassungsbedarf, während seine präzise Stufenbewegungssteuerung dafür sorgt, dass die Bühnenbewegung präzise und wiederholbar ist. Darüber hinaus sorgt seine fortschrittliche temperaturgesteuerte Kammer für Temperaturstabilität bei Lithographieverfahren. Neben seiner hervorragenden Ausrichtleistung ist KARL RUß/MICROTEC MA150CC auch eine wertvolle Lösung für serienreiche Prozesse. Dieses Asset ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu handhaben, sodass Benutzer den Durchsatz maximieren und Speicherplatz minimieren können. Es unterstützt auch eine Vielzahl von fortschrittlichen Photolithographie-Prozesse einschließlich Deep UV, IC Scope und Step & Scan. Insgesamt ist KARL RUß MA-150 CC ein leistungsstarker, hochpräziser Maskenausrichter, der dem Anwender eine unübertroffene Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Herstellung von nanostrukturierten und mikrofabrizierten Geräten bietet. Mit Funktionen wie On-Axis-Korrektur, automatisiertem Wafer-Scanning und variabler Blendensteuerung bietet dieses Modell eine optimale Lösung für serienreiche Produktionsprozesse.
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