Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9299824 zu verkaufen
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ID: 9299824
Weinlese: 1999
Mask aligner
Top side microscope
Top side alignment
Proximity mask holder: 7 x 7"
CIC 1200 Power supply
Lamp house: 1000 W
UV 400 Optics
HITACHI Monitor, 14"
Chuck, 6"
XRS Pre-aligner
Auto alignment option
1999 vintage.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 CC ist ein Linsenkontaktmaskenausrichter, der für eine Vielzahl von photolithographischen Anwendungen eingesetzt wird. Es bietet hohen Durchsatz und Genauigkeit sowie detaillierte Prozesskontrolle. MICROTEC MA150CC wurde entwickelt, um Mikro- und Nanodesign-Fertigung mit Präzisionsausrichtung und Belichtungsflexibilität zu ermöglichen. Dieser Masken-Aligner hat eine Arbeitsfläche von 150 mm x 150 mm und eignet sich ideal für Prototypen, Großserien und F & E. Es hat eine Lichtquelle mit hoher Intensität, Maxi-Stringer-Genauigkeit und Ausrichtungsfehlerkorrektur und kann eine Vielzahl von Wafergrößen und Substraten aufnehmen. KARL RUß MA 150CC verfügt über ein aktives Ausrichtsystem, das die Ausrichtgenauigkeit bei einer Wiederholbarkeit von 1,5 Mikrometern gewährleistet. Seine automatisierten Ausrichtungsfunktionen umfassen sowohl die Einpunkt- als auch die Zweipunktmessausrichtung, und es kann verwendet werden, um Merkmale von 3 µm bis 61 µm mit einer numerischen Apertur von 0,45 abzubilden. Dieser Maskenausrichter ist auch mit mehreren Prozesskontrollfunktionen ausgestattet, die eine überlegene Druckgenauigkeit gewährleisten. Dazu gehören ein Open-Loop-PID-System, Echtzeit-Monitoring und Feedback sowie eine präzise Overdrive-Steuerung. Um eine qualitativ hochwertige Lithographie zu gewährleisten, verfügt KARL RUß MA 150 CC über ein integriertes Wafer Handling System und eine rezeptbasierte automatische Belichtungsoptimierung. Schließlich soll der Masken-Aligner den Prozess der Ausrichtung und Belichtung von Wafern vereinfachen. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und leistungsstarke, integrierte Datenverwaltungs- und Analysetools. Darüber hinaus verfügt es über eine Hochgeschwindigkeitsoption, die es Benutzern ermöglicht, den Durchsatz zu erhöhen und die Gesamtumschlagzeit zu reduzieren. MICROTEC MA 150 CC Maske Aligner ist eine effiziente und kostengünstige Lösung für eine breite Palette von Photolithographie-Anwendungen, bietet außergewöhnliche Genauigkeit und Prozesskontrolle. Es ist ideal für diejenigen, die häufige und genaue Ausrichtung, präzise Belichtung und hohe Durchsatz Fähigkeiten erfordern.
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