Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9394343 zu verkaufen

ID: 9394343
Mask aligner Back Side Alignment (BSA).
KARL RUß/MICROTEC MA-150 CC Maske Aligner ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug zur Herstellung von mikroelektrischen und mechanischen Komponenten. Es ist in der Lage, eine kritische Ausrichtung mit Sub-Mikron-Genauigkeit zu erreichen, so dass es für die Herstellung von Komponenten mit mikroskopischen Merkmalen geeignet ist. MICROTEC MA150CC ist eine vollautomatische und benutzerfreundliche Ausrüstung, die hervorragende und wiederholbare Leistung liefert und eine hohe Kosteneffizienz für die Herstellung feiner Geometrien bei hohen Erträgen bietet. KARL RUß MA 150CC verwendet eine spezielle Schrittmotor-Translationsstufe, um die gefliesten Masken in zwei orthogonalen Achsen genau zu bewegen. Dieser Mechanismus wird von einem Hochgeschwindigkeits-Positioniersystem angetrieben, das auf einem Präzisionsimpulsgeber zur sehr präzisen reproduzierbaren Positioniersteuerung basiert. Damit Masken schnell be- und entladen werden können, ist die Bühne in das Steuergerät integriert. Das Be- und Entladen der Maske wird durch einen Einschiebeautomaten erleichtert, der sich an der Vorderseite der Maschine befindet. Die Belastungskraft kann entsprechend der Maskengröße eingestellt werden, so dass auch sehr kleine und empfindliche Ausrichtungsmasken präzise platziert werden können. Der Masken-Aligner wird mit einer eingebauten Autofokus-Maschine geliefert, die ein Höchstmaß an Genauigkeit bei der Ausrichtung ermöglicht. Das optische Werkzeug verwendet eine lange Tiefe des Feldobjektivs und umgekehrte Neigungsstufen, um den besten Fokus unabhängig von den Höhenvariationen zu erhalten, die auf den Ausrichtungsmarkierungen der Masken vorhanden sind. Diese Funktion ermöglicht eine gute Fokustiefe auch dann, wenn die Masken Teile haben, die Epi-Beleuchtung erfordern. Zusätzlich kann die Autofokus-Funktion manuell überschrieben oder vollständig deaktiviert werden, um maximale Flexibilität zu gewährleisten. Die analoge optische Schrittverschlusstechnologie wird verwendet, um die Ausrichtungsmarken auf der Maske den Fotodioden auszusetzen, wodurch das Asset die Ausrichtungsmarken auf einem Standard 6um X 6um Raster erkennen und messen kann. Dies ermöglicht auch eine schnelle Belichtung der Masken, da keine mechanischen Bewegungen des Verschlusses erforderlich sind. Die Maske zum Fokussieren ist einstellbar, sodass Benutzer je nach Bedarf unterschiedliche Belichtungen und Ausrichtungsgenauigkeiten erzielen können. MA 150 CC hat auch einen Mikropositionierer, der verwendet wird, um rotatorische Ausrichtmarken oder Schieberegler in der Maske bis auf 25 nm zu reduzieren. Dieser Mikropositionierer bietet eine große Kontrolle darüber, wie viel Belichtung die Masken erhalten und kann zur Feinabstimmung der Positionierung der Maske für genauere Ausrichtungen verwendet werden. MA-150CC Maskenausrichter ist ein wirklich vielseitiges Werkzeug, das eine hohe Genauigkeit und Kontrolle für die Ausrichtung von Komponenten im Mikromaßstab bietet. Es ist benutzerfreundlich und bietet eine ausgezeichnete Kosteneffizienz für die Herstellung von feinen Geometrien bei hohen Erträgen.
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