Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M/BSA #9268269 zu verkaufen
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ID: 9268269
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1996
Mask aligner
UV 400 Exposure optics
Light intensity sensor: 320/405 nm
W-100 / W-150 Mask holder
Topside microscope:
Type: DVM 6
Objectives: NPL 5x / L 25x
Bottom side microscope:
Magnifications: 110 / 330
Resolution: 2.4 µm
Proximity, 4"
Ball diameter: 2000 µm, 1998 µm, 1998 µm
Exposure illumination:
Area, 6"
Lamp: 1000 Watt
Position:
Fly eye: 5 mm
Condenser: 38 mm
Lens plate 1: 69 mm
Lens plate 2: 90 mm
1996 vintage.
MICROTEC MA 150 M/BSA ist ein Masken-Aligner (MA), der bei der Herstellung von gefertigten Mikrostrukturen verwendet wird. Diese fortschrittliche Technologie wird verwendet, um Dünnschichtmaskenmuster mit extrem hoher Präzision an den Geräteoberflächen von Halbleiterscheiben auszurichten. Die MA 150 ist mit fortschrittlichen Funktionen konzipiert, die die Herstellung hochwertiger, zuverlässiger Produkte mit sehr feinen Auflösungen ermöglichen. Die MA 150 verwendet eine patentierte binäre optische Ausrüstung, um Masken mit Funktionen so fein wie 2 µm auszurichten. Masken können mit einer Genauigkeit von 1 µm in jede Richtung ausgerichtet werden. Die Maske wird durch ein Vakuum gehalten und ist leicht mit einer halbautomatischen Präzisionsstufe ausgerichtet. Das System umfasst auch einen automatisierten Zuführer, der bis zu 2 Wafer pro Sekunde an die Ausrichtstufe liefern kann. KARL RUß MA 150 kann für Photolithographieverfahren wie Photomaskenausrichtung, Belichtung, Entwicklung, Reinigung und Nachbearbeitung eingesetzt werden. Es verwendet eine hochauflösende optimierte binäre optische Einheit mit einer numerischen Apertur größer als 0,45. Die Positionsgenauigkeit wird durch den Einsatz von Wegmeßsensoren verbessert, die vor jeder Belichtung in die beiden Richtungen eingebaut werden. Die MA 150 ist zudem mit einem integrierten Direktansichtsmikroskop ausgestattet. Auf diese Weise können die Bediener das Muster auf der Anwendungsoberfläche sowie die Ausrichtungsgenauigkeit visualisieren. Diese Funktion wird durch ein fortschrittliches optisches Design ermöglicht, das es ermöglicht, das Bild ohne Verzerrung zu sehen. KARL RUß/MICROTEC MA 150 M/BSA ist eine zuverlässige und genaue Lösung für die Photolithographie, die bei der Herstellung hochwertiger Mikrostrukturen helfen kann. Die fortschrittlichen Funktionen und das Design der Maschine ermöglichen eine präzise Maskenausrichtung mit verbesserter Positionsgenauigkeit, während das Direktansichtsmikroskop zusätzliche Steuerungs- und Überwachungsfunktionen bietet. Damit ist die MA 150 M/BSA eine ideale Wahl für diejenigen, die hochzuverlässige Produkte mit überlegener Wiederholbarkeit herstellen möchten.
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