Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9149625 zu verkaufen
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ID: 9149625
Wafergröße: 6"
Mask aligner, 6"
Top side only
No wafer cassettes
One wafer at a time
PC with solid state drive
15" Touchscreen
1000 Watt Lamp house
UV400 Diffraction reducing optics
365nm / 405nm internal sensor
SUSS CIC1000 Constant intensity power supply
SUSS DVM 6 Dual video microscope
5x, 10X and 25X Objectives with turret
SUSS AL300 Large gap alignment system
Proximity, soft, hard and vacuum contact capable
Pneumatic tubing throughout the machine
Standard alignment chuck
Standard maskholder.
KARL RUß/MICROTEC MA 150 M ist ein Präzisionsmasken-Aligner, der von MICROTEC zur Herstellung von Mikrochips entwickelt wurde. Es ist in der Lage, verschiedene Merkmale und Ausrichtungen zu produzieren, einschließlich Mikrovias, hochohmige Busse (< 200nm) und Flip-Chip-Baugruppe. MICROTEC MA 150M wurde entwickelt, um spezielle Prozessanforderungen mit hoher Genauigkeit zu bewältigen. Die Konstruktion umfasst ein motorisch angetriebenes Arbeitsfeld, das eine Feinausrichtung und wiederholbare Positionierung ermöglicht, sowie ein digitales Read-Out, das die genaue Position anzeigt. Das Gerät ist auch mit einer modernen optischen Projektionsausrüstung und anspruchsvollen Detektionssystemen ausgestattet, um die Genauigkeit zu gewährleisten. Dies ermöglicht eine präzise Ausrichtung der Rück- und/oder Vorderseite einer Maske vor der Strukturierung des Mikrochips. Das System bietet Platz für automatisierte Masken bis zu 6 "oder 150mm mit einer Toleranzgenauigkeit von ± 2 μ m KARL RUß MA-150M ist so konzipiert, dass die Fertigungszeit kürzer und einfacher wird. Weitere Prozessoptionen sind Überlagerungs- und Subpixelvergrößerungsausrichtungen sowie eine programmierbare lineare Z-Achse zur Aufnahme unterschiedlicher Materialstärken. Das eingebaute Laserinterferometer sorgt für höchste Ausrichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Das fortschrittliche Design von MA-150M ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung der Einheit unter Verwendung des PC-basierten grafischen Kontrollzentrums. Die integrierten Kamerasysteme unterstützen eine präzise manuelle Ausrichtung mit Optionen für Metrologie und Vision-assistierte Ausrichtung für automatisierte Prozesse. Die Maschine hat auch eine verbesserte Robustheit, mit IP67-compliant Schutz zum Schutz vor Staub und Wasser Spritzen, sowie ESD-Schutz. MA 150 M ist ideal für industrielle und akademische Forschungsanwendungen. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für die Erstellung alles von einfachen digitalen Designs zu komplexeren, wie 3D-Stapelgeräte. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu handhaben, einschließlich Kupfer, Metalle, Eutektik, Polyimid und Silizium. Es ist so konzipiert, um die Produktionsanforderungen mit so viel Präzision wie nötig zu bewältigen.
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