Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293695701 zu verkaufen

ID: 293695701
Mask aligner.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 Maske Aligner ist eine hochpräzise Photolithographie-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Fotolackmasken exakt auf Substraten auszurichten und zu belichten, um integrierte Schaltungen zu strukturieren. MICROTEC MA150 verfügt über einen Substrattisch mit einer maximalen Größe von 4 „x 4“, der starre Substrate wie Silizium, Glas, Quarz und Dielektrika sowie flexible Substrate wie Polyvinylidenchlorid (PVDF), Polyurethan und Polyester unterstützt. Zum Aligner gehören auch eine Maskenkassette, die bis zu vier 4 „x 4“ Masken aufnehmen kann, und ein Maskenhalter mit einem 5-Positionen-getriebenen Probenfutter zum automatischen Be-/Entladen von Substraten. Um genaue und wiederholbare Ausrichtungen zu gewährleisten, verfügt KARL RUß MA 150 über eine motorisierte dreiachsige Ausrichtstufe, die von linearen Gebern angetrieben wird und eine Positioniergenauigkeit von bis zu 0,1 µm aufweist. Es enthält auch ein Autofokus-System mit drei Objektiven: 4X, 10X und 20X, die zusammen ein herrliches 50-Mikron-Sichtfeld bieten. Die optische Einheit des Aligners hat eine Interpixelauflösung von 0,2 µm, eine variable Belichtungszeit von 200 ms bis 10000 ms, eine LED-Leistung von 9mW/cm2 und einen Belichtungsbereich von bis zu 8J/cm2. MA-150 Maskenausrichter verwendet eine lineare Synchro-Mikro-Scan-Technik, um das Substrat mit einer minimalen Linienbreite von 1 µm zu belichten. Es eignet sich für UV-, Near-IR- und E-Beam-Fotoresists und verfügt über eine automatisierte Front-End-Steuerungsmaschine, die die Bedienung vereinfachen kann und mit DOS-, UNIX- und Windows-Plattformen kompatibel ist. Das Tool bietet ein hochpräzises Vakuum-Subsystem für die Substrathandhabung und -ausrichtung mit einer benutzerprogrammierbaren Bewegungssteuerung. MA150 Mask Aligner ist eine zuverlässige, effiziente und kostengünstige Photolithographielösung, die für Wafer-Sondierung, Micro-Bump-Abflachung, High-Aspect-Ratio-UV-Writing, RGB-Auto-Color-sensibilisierte Lithographie sowie andere Mikrofabrikationsverfahren eingesetzt werden kann. Mit seiner robusten Konstruktion und dem intuitiven Bedienmodell ist es ein ideales Werkzeug für kosteneffizientes Prototyping und Pilotproduktion.
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