Gebraucht KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9168355 zu verkaufen
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ID: 9168355
Mask aligner, parts system
Ignition box: 1000 watts
Cables
Covers metal bars and screws
(17) Small PCBs are in card box
(2) Elevator assemblies
(2) Joysticks
Pre-aligner assembly
X-Axis lead screw
Upper and lower microscope mechanism
WEC Head
KARL SUSS Monitor (Bad screen)
Does not include:
UV Optics
Microscope and UV power supply.
KARL RUß/MICROTEC MA-150 ist ein anspruchsvoller, hochpräziser Maskenausrichter für die fortschrittliche Photolithographie bei der Herstellung integrierter elektrischer Schaltungen. Es hat einen 150 mm Arbeitsbereich, so dass es ideal für eine breite Palette von Anwendungen in der IC-Produktion, einschließlich Halbleiterforschung, Speicherchip-Programmierung und aktives Schaltungsdesign. Der Aligner besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem vollautomatischen XYZ-Tisch und einer integrierten optischen Ausrüstung. Die XYZ-Tabelle ermöglicht eine präzise Positionierung verschiedener Ausrichtungsmasken. Ein Vakuumsystem sorgt dafür, dass die Masken fest gehalten werden. Die optische Einheit umfasst eine Laserquelle, eine optische Twin-Gate-Maschine und einen ultrahochauflösenden Photodetektor. Diese Kombination ermöglicht eine äußerst genaue Ausrichtung der Masken auf das Substrat, während ein bildbasiertes Ausrichtwerkzeug eine noch feinere Präzision ermöglicht. MICROTEC MA150 können Maskenform und Ausrichtung auf zwei Arten bestimmen. Es kann Fehlstellungen zwischen zwei benachbarten Masken erkennen, was eine sehr effiziente Maskenplatzierung ermöglicht. Alternativ kann es die Form einer einzelnen Maske erkennen, was eine sehr präzise Herstellung von Formen bis zu 5 µm ermöglicht. Damit eignet sich der Maskenausrichter hervorragend für ein breites Anwendungsspektrum, auch in der Mikroelektronikindustrie. KARL RUß MA 150 ist auch sehr benutzerfreundlich. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die Anwendern einfach zu befolgende Schritte für ihre Photolithographie-Aufgaben bietet. Nach Eingabe der Ausrichtungsparameter richtet MA-150 die Masken bzw. Submikronmuster jeweils auf das Substrat aus. Dieser Aligner kommt auch mit vielen erweiterten Funktionen und Fähigkeiten, wie automatische Belichtungssteuerung und Verzerrungskorrektur. Dadurch wird sichergestellt, dass Präzision und Wiederholbarkeit stark verbessert werden. KARL RUß/MICROTEC MA 150 hat sich zu einem Standbein in der Welt der Photolithographie entwickelt. Die hochauflösende Optik, die automatisierten Funktionen und die integrierte Optik machen es zum perfekten Werkzeug für komplizierte Schaltungslayouts mit Präzision und Genauigkeit. Seine Benutzerfreundlichkeit und die Fähigkeit, mehrere Ausrichtungsaufgaben auszuführen, machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für jedes fortschrittliche IC-Projekt.
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